[实用新型]硅烷废气焚烧净化系统

权利要求书

1.一种硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，它包括焚烧炉(2)、多管除尘器(3)、布袋除尘器(4)、风机(5)和烟囱(6)；

焚烧炉(2)尾部与多管除尘器(3)进气口相连，多管除尘器(3)出气口与布袋除尘器(4)进气口相连，布袋除尘器(4)出气口与风机(5)进风口相连，风机(5)出风口与烟囱(6)相连。

2.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述焚烧炉(2)前端的中心轴线上水平安装有燃烧器(1)，所述的燃烧器(1)上开设有硅烷气入口(1-1)，助燃煤气入口(1-2)，助燃风入口(1-3)和惰性气入口(1-4)。

3.根据权利要求1所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的焚烧炉(2)为卧式双炉壳结构，由内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)嵌套构成燃烧室(2-4)、混合室(2-5)和夹套层(2-6)。

4.根据权利要求3所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的外炉壳(2-2)前端设有冷却风入口(2-7)。

5.根据权利要求4所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，所述的内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)前端面板重合，内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)同中心轴。

6.根据权利要求5所述的硅烷废气焚烧净化系统，其特征在于，内炉壳(2-1)和外炉壳(2-2)之间设有旋流片(2-3)，旋流片(2-3)位于内炉壳(2-1)尾部，呈圆周均匀分布。