[实用新型]一种高精度纳米位移台

权利要求书

1.一种高精度纳米位移台，其特征在于：包括安装盘、安装在安装盘上方的主管套、固定在安装盘下方的底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，所述安装盘的上方设有上开口，所述主管套包括上套管及下套管，且上套管与下套管结合处形成台阶，所述下套管的直径大于上开口的直径，且下套管位于安装盘内部，而上套管自上开口延伸出安装盘，所述压电陶瓷棒的上端抵靠在上套管的上部内侧，压电陶瓷棒的下端抵靠在底套筒的下部内侧，所述弹簧的下方固定在安装盘的底部，弹簧的上方固定在所述上套管的顶部，所述主管套随着压电陶瓷棒的变形而上下移动。

2.根据权利要求1所述的高精度纳米位移台，其特征在于：所述安装盘的下方设有下开口，所述压电陶瓷棒自下开口延伸入底套筒内并抵靠在底套筒的底部内侧。

3.根据权利要求2所述的高精度纳米位移台，其特征在于：所述上套管的顶部设有三个上销钉安装孔，所述弹簧为三个，该三个弹簧与压电陶瓷棒同向延伸并且围绕压电陶瓷棒设置，该三个弹簧的顶部通过销钉一一固定在所述三个上销钉安装孔内。

4.根据权利要求3所述的高精度纳米位移台，其特征在于：所述安装盘的底部设有三个下销钉安装孔，所述三个弹簧的底部通过销钉一一固定在所述三个下销钉安装孔内。

5.根据权利要求3所述的高精度纳米位移台，其特征在于：所述安装盘包括中套、固定在中套上方的上盖板、固定在中套下方的下盖板，所述上开口开设在上盖板中央位置，下开口开设在下盖板中央位置。

6.根据权利要求1所述的高精度纳米位移台，其特征在于：下套管的底部还安装有内垫盘。