[实用新型]拉曼原子力显微镜联用分析系统

权利要求书

1.一种拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，包括：原子力显微镜检测装置、光学成像系统和拉曼光谱系统，所述原子力显微检测装置包括样品扫描台、扫描探头、激光器、探针和四象限探测器；所述光学成像系统包括光源、半透镜A、半透镜B、物镜和CCD；所述拉曼光谱系统包括拉曼光谱仪装置和光纤。

2.根据权利要求1所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述扫描探头设置于所述样品扫描台上，所述激光器、探针和四象限探测器均设置于所述扫描探头内部，所述探针处于放置在所述样品扫描台的台面上的待测样品的上方，所述激光器和四象限探测器设置于所述探针两侧。

3.根据权利要求2所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述物镜插入所述扫描探头内部设置于所述探针的正上方，所述半透镜B、所述半透镜A和光源由下至上依次设置于所述物镜的正上方。

4.根据权利要求3所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述CCD设置于所述半透镜A的一侧，用于对待测样品进行成像。

5.根据权利要求3所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述光纤一端与所述拉曼光谱仪装置连接，另一端设置于所述半透镜B的一侧，以传输所述拉曼光谱仪装置发出的激光和所述扫描探头内反射出的拉曼散射光。

6.根据权利要求5所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述拉曼光谱仪装置至少包括用于发射激光的激光发射器、用于采集拉曼散射光的采集器、用于对采集的拉曼散射光进行处理的信号处理器及用于分析待测样品性质的分析器。

7.根据权利要求3所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述光源、半透镜A、半透镜B和物镜的光学中心线重合。

8.根据权利要求7所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，还包括镜筒、固定件和连接件，所述半透镜B设置在所述镜筒内，所述镜筒的侧端固定连接有与其连通的所述固定件，所述固定件的另一端可拆卸连接 有所述连接件，所述光纤穿设在所述连接件内。

9.根据权利要求8所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述连接件包括圆筒体、贯穿开设于所述圆筒体中央的开孔和对称设置在所述圆筒体外壁上的卡扣件，所述卡扣件包括一端与所述圆筒体外壁可转动连接的侧板、连接于所述侧板另一端的卡块和连接于所述侧板和圆筒体外壁之间的弹簧，所述侧板的外侧上开设有弧形凹槽，所述光纤穿设在所述开孔内；所述圆筒体的前端呈圆锥体状。

10.根据权利要求9所述的拉曼原子力显微镜联用分析系统，其特征在于，所述固定件中央开设有通孔，所述通孔的末端呈与所述圆筒体的前端配合的圆锥体状，所述通孔前端的内壁上向上下两侧开设有两个与所述卡块配合的卡槽。