[实用新型]全自动量产型纳米压印装置有效
申请号: | 201720557058.5 | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN206788552U | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 刘晓成;史晓华 | 申请(专利权)人: | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司32232 | 代理人: | 黄丽莉 |
地址: | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全自动 量产 纳米 压印 装置 | ||
1.全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,包括:
底座,底座上设有导轨;
多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;
供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导轨长度方向的一侧;
物料移载机构,物料移载机构移动设置于导轨上,用于将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运。
2.根据权利要求1所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,物料移载机构包括安装基座、驱动机构、二连接曲柄机构和定位组件,安装基座移动设置于导轨上,二连接曲柄机构对称设置于安装基座上,二连接曲柄机构包括第一连接臂和第二连接臂,第一连接臂长度方向的一端转动设置于安装基座上,第二连接臂长度方向的一端转动设置于第一连接臂上,定位组件包括定位底座、料片取料组件和软膜板取料组件,定位底座与二第二连接臂的自由端铰接,料片取料组件、软膜板取料组件设置于定位底座上,驱动机构与第一连接臂、第二连接臂连接用于驱动二第一连接臂绕其与安装基座的连接点沿同一圆周方向转动、以及用于驱动二个第二连接臂绕其与第一连接臂的连接点沿相反的圆周方向转动。
3.根据权利要求2所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,定位底座为圆柱结构,料片取料组件、软膜板取料组件相对设置于圆柱结构的侧面上。
4.根据权利要求2所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,定位底座为圆柱结构,料片取料组件、软膜板取料组件设置于圆柱结同一侧的侧面上或二者均设置于圆柱结相对的二侧面上,料片取料组件设置于软膜板取料组件的上方。
5.根据权利要求1所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,安装基座包括上基座、下基座和连接气缸,下基座移动设置于导轨上,连接气缸设置于下基座上且其输出端与上基座连接。
6.根据权利要求1所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,料片取料组件包括二取料杆,取料杆为装夹料杆或吸附料杆。
7.根据权利要求1所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,软膜板取料组件包括吸盘手指,吸盘手指为电磁吸铁机构或真空吸附机构。
8.根据权利要求7所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,吸盘手指包括吸盘底板和电磁线圈,吸盘底板内开设有安装腔体,电磁线圈设置于安装腔体内,电磁线圈与变频电源连接;或吸盘手指包括吸盘底板,吸盘底板的底部开设有吸附气孔,吸盘底板内开设有连通吸附气孔的连接通道,连接通道与真空泵连接。
9.根据权利要求1所述的全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,纳米压印机构包括压印机箱和压印机构,压印机箱设置于底座上,压印机箱内设有料片定位机构和软膜板定位机构,压印机箱的侧面上设有料片进出口和软膜板进出口,压印机构设置于压印机箱内用于将软膜板压印至料片上。
10.根据权利要求1所述的全自动量产型纳米压印装置其特征在于,还设有料片定中心机构,料片定中心机构设置于料片供料机构的下方。
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