[实用新型]磷杂质清理器有效

专利信息
申请号: 201720549827.7 申请日: 2017-05-18
公开(公告)号: CN206779004U 公开(公告)日: 2017-12-22
发明(设计)人: 耿伟建;陈雄 申请(专利权)人: 无锡邑文电子科技有限公司
主分类号: B08B1/04 分类号: B08B1/04;B08B13/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 曹祖良,屠志力
地址: 214135 江苏省无锡市新吴区太湖国际*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 杂质 清理
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种杂质清理工具,尤其是一种磷杂质清理器。

背景技术

由于在分子泵清理保养的时候,有时候会遇到分子泵腔体内以及底座槽内会堆积磷杂质,在普通的清理过程中,有直接用工具刮铲或者用打磨等其他方法,以上这些方法都会使磷杂质燃烧,因为磷的燃点很低。

普通的清理工具不仅耗费时间和人力,而且由于清理时的剐蹭会使分子泵的温度升高很容易发生磷的燃烧,造成二次污染,复杂清理流程。

发明内容

针对现有技术中存在的不足,本实用新型提供一种磷杂质清理器,可以方便的清理磷杂质,防止磷杂质燃烧,避免清理中断浪费时间。本实用新型采用的技术方案是:

一种磷杂质清理器,包括电钻、清洁布、管道、可调节阀门、容器;

所述电钻包括一个钻头,在钻头上缠绕清洁布;清洁布需要完全包裹钻头前端;

在电钻上安装一个用于盛放冷却液体的容器;管道的一端连接在容器底部,另一端向钻头前端方向延伸;管道的前端相对于钻头的前端后缩进;

在管道上设置一个可调节阀门,用于调节冷却液体的流量。

进一步地,钻头前端的清洁布包裹成一个圆形头。

进一步地,容器内盛放有双氧水。

进一步地,容器固定在电钻本体的上方。

本实用新型的优点在于:本实用新型提供了一种清理分子泵的工具,对于需要清理的磷杂质,可以很好的阻止清理时的反应情况,并且对于清理不同的杂质,可以添加不同的液体,提高清理的效率和清洁度。

本实用新型高效、有针对性的完成清理工作,效果明显;防止清理时二次污染,保护清理人员和分子泵。

附图说明

图1为本实用新型的结构组成示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示,本实用新型提供的磷杂质清理器,包括电钻1、清洁布2、管道3、可调节阀门4、容器5;

所述电钻1包括一个钻头101,在钻头101上缠绕清洁布2;选用的清洁布是不容易生热的清洁布,钻头101前端的清洁布2包裹成一个圆形头,可以方便对分子泵腔体进行清洁,且避免损坏泵体内表面;

在电钻1上安装一个用于盛放冷却液体的容器5,容器5可固定在电钻1本体的上方;管道3的一端连接在容器5底部,另一端向钻头101前端方向延伸;管道3的前端相对于钻头101的前端略微后缩进,避免管道3前端触及分子泵腔体内壁;

在管道3上设置一个可调节阀门4,用于调节冷却液体的流量;在使用时,容器5内盛放双氧水;

在对分子泵清理时,先在容器5内注入双氧水,然后适当调节可调节阀门4,使得双氧水流量合适,开启电钻1,一边用钻头101带动清洁布2旋转对分子泵清理,一边可以降温;双氧水既起到降温作用,又方便清洁分子泵内的杂质;

上述过程不仅可以将分子泵清理的干净而且可以防止燃烧,避免清理中断浪费时间,或者由于磷杂质燃烧产生新的杂质。

容器5内添加其它的液体,还可以针对其它类型的杂质进行清理,提高清理的效率和清洁度。

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