[实用新型]一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备

权利要求书

1.一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：包括镀膜设备和后期处理设备；所述镀膜设备包括镀膜机体壳，镀膜机体壳内通过隔板分割之后，由上至下形成前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室；在镀膜机体壳内还设有绕卷装置和冷却装置，其中绕卷装置贯穿前处理室和磁控溅射室；所述磁控溅射室内设有磁控溅射靶装置，所述蒸镀室内设有蒸发装置；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室均外接有一个抽真空装置；所述后期处理设备包括放料装置、前处理槽、第一级电镀铜槽、第二级电镀铜槽、水洗槽、抗氧化处理槽、烘干箱、收料装置。

2.如权利要求1所述的一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：所述绕卷装置包括放料辊、冷辊、收料辊；冷辊贯穿前处理室、磁控溅射室，冷辊内设有冷却机。

3.如权利要求1所述的一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：所述前处理室内的一侧设有红外加热器和等离子体设备。

4.如权利要求1所述的一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：所述冷却装置包括深冷捕集器、坩埚用水冷机以及循环冷却水回路；所述前处理室、磁控溅射室以及蒸镀室各设有一个深冷捕集器。

5.如权利要求1所述的一种低轮廓柔性线路板材料的生产设备，其特征在于：所述蒸发装置由蒸发坩埚和加热器组成，加热器是电阻加热源、高频感应加热源或电子束加热源中的一种。