[实用新型]一款集成配气装置

说明书

技术领域

本实用新型属于供气系统技术领域，具体涉及一款集成配气装置。

背景技术

在半导体芯片、光伏、化工、制药等行业的企业车间的都会用到特殊气体输送系统，叫做供气系统，在供气系统中很重要的一个模块就气体配气装置。配气装置的作用是控制气体的开关通断，调节压力和流量。当前行业内使用的气体装置内各原件布局较分散，控制开关的阀门和调节流量和压力的装置距离较远，中间通过较长的管路连接，这种装置占用空间较大，在支路较多时管路工程施工难度大。并且各控制阀门分散布置给操作人员的操作带来不便，难以同时调节多个气路，难以同时调节多个控制参数。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一款集成配气装置，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：一款集成配气装置，包括安装面板和配气罐，其结构要点在于：安装面板包括气路，气路包括由连接管路连接的进气口a，高压压力表，调压阀a，低压压力表，流量控制阀a，流量计a，开关控制阀和出气口a；配气罐为圆柱形罐，配气罐由带有阵列排序的孔的分隔板分隔成上层和下层，下层的底部设有进气口b，上层的内壁上设有两个相对的风扇，上层的外壁设有与风扇连接的开关，配气罐的上方设有出气口b，出气口b上设有调压阀b，压力表，流量控制阀b和流量计b；出气口a和进气口b通过带有三通管接头的连接管相连接，连接管上设有出气口c且与三通管接头相连接。

作为优选的，配气罐的数量为2个。

作为优选的，气路的数量为8条。

作为优选的，进气口b的数量为4个且均匀分布在配气罐的圆周上。

作为优选的，进气口b与配气罐的外壁所成的夹角小于90度。

作为优选的，分隔板上的孔为圆形或方形或三角形。

与现有技术相比，本实用新型实现了配气装置的集成化设计，结构紧凑，安装空间小，便于模块化设计和安装，减小管路工程施工难度，提高气体控制工作的工作效率，使用时可调节8条气路中的任意支路，也可同时调整每条支路中的压力值和流量值，并且可以同时进行单一气或混合气的输送，气体混合更加均匀。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1-安装面板，2-高压压力表，3-调压阀a，4-低压压力表，5-流量计a，6-流量控制阀a，7-开关控制阀，8-连接管路，9-进气口a，10-出气口a，11-配气罐，12-进气口b，13-分隔板，14-风扇，15-调压阀b，16-压力表，17-流量控制阀b，18-流量计b，19-出气口b，20-气路，21-上层，22-下层，23-开关，24-三通管接头，25-连接管，26-出气口c。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的解释说明，但不限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“底部”、“内”、“下外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案，包括安装面板1和配气罐11，所述的安装面板1包括气路20，所述的气路20包括由连接管路8连接的进气口a9，高压压力表2，调压阀a3，低压压力表4，流量控制阀a6，流量计a5，开关控制阀7和出气口a10；所述的配气罐11为圆柱形罐，所述的配气罐11由带有阵列排序的孔的分隔板13分隔成上层21和下层22，所述的下层22的底部设有进气口b12，所述的上层21的内壁上设有两个相对的风扇14，所述的上层21的外壁设有与风扇14连接的开关23，所述的配气罐11的上方设有出气口b19，所述的出气口b19上设有调压阀b15，压力表16，流量控制阀b17和流量计b18；所述的出气口a10和进气口b12通过带有三通管接头24的连接管25相连接，所述的连接管25上设有出气口c26且与三通管接头24相连接。

其中，在本实施例中，所述的配气罐11的数量为2个。

其中，在本实施例中，所述的气路20的数量为8条。

其中，在本实施例中，所述的进气口b12的数量为4个且均匀分布在配气罐11的圆周上。

其中，在本实施例中，所述的进气口b12与配气罐11的外壁所成的夹角小于90度。

其中，在本实施例中，分隔板13上的孔为圆形或方形或三角形。