[实用新型]扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统有效
申请号: | 201720515054.0 | 申请日: | 2017-05-10 |
公开(公告)号: | CN206756314U | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 王卫峰;陆卫国;肖茂森;徐峰;王海霞;蔡勇;王致强;刘爱敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J4/00 | 分类号: | G01J4/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩束线 偏振光 光轴 一致性 稳定性 检测 系统 | ||
技术领域
本实用新型属于精密测试计量技术领域,具体涉及一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统。
背景技术
在精密测试计量技术领域,偏振光技术应用非常广泛,然而在应用过程中,对于经过扩束后线偏振光光轴的一致性、稳定性不明确,从而影响了最终的测量精度及其应用。
目前,应用线偏振光技术进行精密测量时,是将线偏振光作为基准来检测目标相对于该基准的微小偏移量,或是根据偏振光经过目标后的状态变化对目标进行测量。所以,扩束后线偏振光的性能对于测量非常关键,其光轴的一致性、稳定性将直接影响到测量的精度。
实用新型内容
为了解决现有的线偏振光技术无法对其光轴一致性和稳定性进行精确检测的技术问题,本实用新型提供一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统。
本实用新型的技术解决方案是:一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统,其特殊之处在于:包括检测装置、经纬仪和基准平面镜;所述经纬仪用于准直检测装置和基准平面镜;
所述检测装置包括固定机构、旋转机构、检测机构和调平机构;所述检测机构通过旋转机构安装于固定机构上,所述固定机构通过调平机构安装于一个分度台上;
所述检测机构包括检测直角棱镜和光电接收组件;所述检测直角棱镜用于引出被检测偏振光光轴方位,所述光电接收组件用于检测偏振光方位并将光信号转换为电信号。
进一步地,上述光电接收组件包括检偏镜和与检偏镜相连的光电转换电路板。
进一步地,上述旋转机构包括竖直设置于检测机构和固定机构之间的密珠轴系以及与密珠轴系相适配的锁紧微调旋钮。
进一步地,上述调平机构包括位于固定机构底部的调平脚螺和位于检测机构上的调平指示水泡。
本实用新型还提供一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测方法,其特殊之处在于:包括以下步骤:
1)将检测装置置于调平后的分度台上,使经过扩束后的被检线偏振光中心对准检测装置的通光孔并将检测装置调平,将此位置记为中心位置I;执行步骤2)至步骤4)得到被检线偏振光在中心位置I处的光轴稳定度δI以及被检线偏振光在中心位置I处的光轴与基准平面镜的方位夹角αI;然后执行步骤5);
2)转动检测装置的旋转机构,使检测装置上检偏镜的透光轴与被检线偏振光光轴成90°夹角(即检偏镜光轴相对被检测线偏振光光轴的消光位置),并锁紧旋转机构的锁紧微调旋钮;使用经纬仪对检测装置旁边的基准平面镜进行准直测量,记录此时经纬方位值为α基准P,其中P代表不同的位置;经纬仪准直检测装置上检测直角棱镜的方位值为β1;
3)保持检测装置、基准平面镜及经纬仪位置不变,将旋转机构转动一定角度后再使检测装置上检偏镜的透光轴与被检线偏振光光轴成90°夹角,将锁紧旋钮锁紧,经纬仪准直检测装置上检测直角棱镜方位值为β2;
4)重复执行步骤3)得到多个检测直角棱镜方位值β3、β4……βn;按照公式(1)计算得到被检线偏振光在位置P处的光轴稳定度δP,按照公式(2)计算得到被检线偏振光在位置P处的光轴与基准棱镜的方位夹角αP;
5)得到被检线偏振光在中心位置I处的光轴稳定度δI以及被检线偏振光在中心位置I处的光轴与基准平面镜的方位夹角αI;
6)保持基准平面镜位置不变,将检测装置相对于中心位置I平移距离d,然后将检测装置调平,将此位置记为位置II;执行步骤2)至步骤4)得到被检线偏振光在位置II处的光轴稳定度δII以及被检线偏振光在位置II处的光轴与基准平面镜的方位夹角αII;被检线偏振光在位置II处相对于中心位置I的光轴一致度为αII-αI;
7)设定转动次数m,m为大于或等于6的整数;
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