[实用新型]一种夹具及包括该夹具的堆bar机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种夹具及包括该夹具的堆bar机。

背景技术

半导体激光器又称激光二极管，是用半导体材料作为工作物质的激光器。由于物质结构上的差异，不用种类产生激光的具体过程比较特殊。然而在高功率半导体激光器芯片制作工艺中的光学镀膜工艺，需保证堆好的 bar条与陪条腔面至少有一面相对齐平，以达到减少镀膜缺陷，延长产品的寿命的目的。

现有的技术中堆bar机是半自动的或全自动的堆bar机，存在如下不足：

(1)现有的堆bar机技术中固定bar条夹具的组件要求精密度较高，从而限制了夹具的结构与尺寸。因此，同一厂家提供的堆bar机厂家提供的夹具结构、尺寸较为单一，不适用于多样化的夹具工艺，从而限制了工艺的改进和技术保密。

(2)在购买光学镀膜及之前需要先购买堆bar机，然后根据堆bar 机厂家提供的夹具去设计光学镀膜及相应部件，从而延长了光学镀膜机购买周期。

(3)现有技术中堆bar机设计复杂，成本高。Daitron公司生产的堆 bar机工作原理是在特定的夹具上插入两根插条，然后在插条上堆bar条，此插条根据bar条的重量下降适当的高度。由于bar条片子薄(约100μm)、尺寸小、重量轻，因此需要对重量和距离感应较精密的感应器。Opto system 公司生产的堆bar机工作原理是在在堆bar机的特定区域放置特定的夹具，然后采用的类似于红外感应的原理精确定位每一根bar条或陪条的位置来实现目的。但是bar条薄(约100μm)，因此需要细微光斑的做到精确定位，成本过高。

实用新型内容

本实用新型提供一种夹具及包括该夹具的堆bar机及利用该堆bar机的堆bar方法，解决了现有技术中堆bar机的bar条固定夹具的组件要求精密，限制了夹具尺寸以及夹具的形状而导致堆bar机设计复杂，成本高的技术问题，达到了堆bar机精度高、设计简单、成本低的技术效果。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种堆bar机，所述堆bar 机包括夹具、真空机；

所述夹具包括上夹板、下夹板、弹性件；所述下夹板包括第一端面，所述第一端面开设有一缺口；所述上夹板包括第二端面，所述上夹板固定设置在所述下夹板上时，所述第一端面与所述第二端面相对设置，所述弹性件的一端固定在所述第二端面上；所述夹具与水平面的夹角为40-50°；

所述真空机的真空吸嘴与所述缺口的下方相对设置；所述夹具还包括固定板，所述固定板固定设置在所述缺口中；所述夹具还包括活塞，所述活塞与所述弹性件的另一端连接。

优选的，所述弹性件具体为压缩弹簧。

优选的，所述第一端面设置有凹槽，所述第二端面与所述凹槽对应位置开设有与所述凹槽配合的凸台。

基于同样的实用新型构思，本申请还提供一种夹具，所述夹具包括上夹板、下夹板、弹性件；所述下夹板包括第一端面，所述第一端面开设有一缺口；所述上夹板包括第二端面，所述上夹板固定设置在所述下夹板上时，所述第一端面与所述第二端面相对设置，所述弹性件的一端固定在所述第二端面上；所述夹具与水平面的夹角为40-50°；所述夹具还包括固定板，所述固定板固定设置在所述缺口中；所述夹具还包括活塞，所述活塞与所述弹性件的另一端连接。

基于同样的实用新型构思，本申请还提供一种采用上述的堆bar机的堆bar方法，所述堆bar方法包括：

步骤(1)，打开所述真空机，调到适当的真空度。

步骤(2)，固定所述夹具与水平面的夹角呈40-50°；

步骤(3)，用真空吸笔吸一根陪条放到夹具上。

步骤(4)，用真空吸笔吸一根Bar条叠放到陪条上。

重复步骤(3)、步骤(4)，当所述Bar条与陪条叠放至预设数量时，安装上所述上夹板，并与所述下夹板固定。

优选的，在所述步骤(3)或步骤(4)之前，所述堆bar方法还包括：

当Bar条或陪条有两根或以上粘在一起，对粘在一起的Bar条或陪条利用真空机两面吸真空，以分开粘在一起的Bar条或陪条。

本申请至少存在如下有益效果：

本申请通过将夹具与水平面夹角呈40-50°利于腔面堆叠的平整度；堆叠的Bar条与陪条不容易倒；通过设置真空机且bar放置于夹具上，保证了放置bar条的一面的平整度，对于高功率半导体激光器芯片的光学镀膜工艺，需保证Bar条与陪条腔面至少有一面相对平齐，如果不平齐，将会在Bar条电极面镀上光学膜，从而导致器件在使用时出现光学灾变损伤，严重减短器件的寿命。