[实用新型]一种用于低浓度工业废气在线检测的富集器

权利要求书

1.一种用于低浓度工业废气在线检测的富集器，其特征在于，包括基板、吸附剂、第一叉指电极、第二叉指电极、加热器以及上盖，所述上盖具有凹陷部，所述上盖扣盖在所述基板上，且所述凹陷部与所述基板形成腔体，所述第一叉指电极和第二叉指电极设置在所述腔体内，所述吸附剂覆盖在所述第一叉指电极和第二叉指电极之间，所述加热器设置在所述基板上，所述腔体具有进气口和出气口，所述进气口与气泵连通，所述出气口与分析仪器连通，所述第一叉指电极与所述第二叉指电极分别与电阻检测装置电连接，且所述电阻检测装置、气泵以及富集器均与控制装置电连接。

2.如权利要求1所述的用于低浓度工业废气在线检测的富集器，其特征在于，所述第一叉指电极和第二叉指电极均具有电极端和若干引脚，所述电阻检测装置分别与所述第一叉指电极和第二叉指电极的电极端连接，所述第一叉指电极的若干引脚与第二叉指电极的若干引脚相间设置。

3.如权利要求1所述的用于低浓度工业废气在线检测的富集器，其特征在于，所述第一叉指电极和第二叉指电极的制作材料为金或铂。

4.如权利要求1所述的用于低浓度工业废气在线检测的富集器，其特征在于，所述基板为硅片或氮化硅薄膜，且所述基板的厚度不大于0.5mm。

5.如权利要求1所述的用于低浓度工业废气在线检测的富集器，其特征在于，所述加热器的制作材料为铂。

6.如权利要求1所述的用于低浓度工业废气在线检测的富集器，其特征在于，所述控制装置为单片机或PLC。