[实用新型]一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统

权利要求书

1.一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，其特征在于，还包设置在所述反射镜与所述掩膜板之间的相位图形片，所述相位图形片包括同一圆内的多个相邻夹角相等且圆心角相等的极边扇形，所述极边扇形被多个与所述极边扇形同心的同心圆分割为多个曲边照明极块，同一所述极边扇形对应的多个所述曲边照明极块之间的间距成等差级数，入射光束经过所述反射镜反射到所述相位图形片后偏离主光轴产生一个倾角后，透射过所述掩膜板的图形的零级和一级衍射光经过所述投影透镜在晶圆片的光刻胶上形成干涉图案。

2.如权利要求1所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，所述相位图形片设置在所述聚光透镜上方、所述掩膜板上方或所述掩膜板的上表面。

3.如权利要求1所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，所述曲边照明极块的开口角为30°～45°。

4.如权利要求3所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，相邻所述极边扇形之间的夹角为30°～60°。

5.如权利要求4所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，所述极边扇形的数量为4～6。

6.如权利要求1所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，同一所述极边扇形对应的多个所述曲边照明极块之间的间距相等。

7.如权利要求6所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，同一所述极边扇形对应的多个所述曲边照明极块在径向的厚度相等。

8.如权利要求7所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，同一所述极边扇形对应的多个所述曲边照明极块在径向的厚度与之间的间距相等。

9.如权利要求1-8任意一项所述用于增强光刻分辨率的离轴照明结构，其特征在于，所述相位图形片的中心与所述聚光透镜、所述投影透镜处于同一主光轴。

10.一种光刻系统，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的用于增强光刻分辨率的离轴照明结构。