[实用新型]一种紫外激光连续变倍扩束镜

权利要求书

1.一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中所述的第一透镜为凹面朝向出射端的弯月正透镜，第二透镜为双凹的负透镜，第三透镜双凹负透镜，第四透镜为双凸正透镜。

2.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜的焦距满足：20mm＜f₁＜60mm，-20mm＜f₂＜-2mm，100mm＜f₃₄＜220mm，其中，f₁为第一透镜的焦距，f₂为第二透镜的焦距，f₃₄为第三透镜和第四透镜的合焦距。

3.根据权利要求2所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜的焦距满足：f₁＝41.2mm，f₂＝-9.13mm，f₃₄＝156.17mm，其中，f₁为第一透镜的焦距，f₂为第二透镜的焦距，f₃₄为第三透镜和第四透镜的合焦距。

4.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，第一透镜的两个球面S₁和S₂，其曲率半径分别为16.2mm和89.4mm，第一透镜的中心厚度为2.4mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第二透镜的两个球面S₃和S₄，其曲率半径分别为-9mm和9mm，第二透镜的中心厚度为2mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第三透镜的两个球面S₅和S₆，其曲率半径分别为-324.8mm和91mm，第三透镜的中心厚度为4.2mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第四透镜的两个球面S₇和S₈，其曲率半径分别为178.65mm和-47.86mm，第四透镜的中心厚度为6mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68。

5.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d₂，d₂的范围是：4mm＜d₂＜28mm；第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为d₄，d₄的范围是：100＜d₄＜140mm，第三透镜与第四透镜之间在光轴上的空气间隙为3.5mm。

6.根据权利要求5所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d₂，d₂的范围是：5.4mm≤d₂≤24.6mm，第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为d₄，d₄的范围是：112.3mm≤d₄≤126.3mm，第三透镜与第四透镜之间在光轴上的空气间隙为3.5mm。

7.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，所述的扩束镜的入射光束波长为355nm。

8.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，所述的扩束镜的倍率范围为β＝2～10。

9.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，所述的扩束镜在各倍率下的波像差<λ/10。

10.根据权利要求1所述的一种紫外激光连续变倍扩束镜，其特征在于，所述的扩束镜在不同倍率的入瞳直径范围为φ_入＝2.2mm～6mm。