[实用新型]单晶炉内悬挂的热屏

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，特别是涉及一种单晶炉内悬挂的热屏。

背景技术

单晶硅一般用直拉法制造。为了加大晶体与熔硅之间固液界面的温度梯度、加快结晶潜热的释放以及提高晶体的冷却速率，在石英坩埚上方悬挂设置围绕单晶棒的热屏，从而降低了开炉功耗，节省了生产成本。

传统技术中，热屏包括外热屏层、内热屏层和位于外热屏层和内热屏层之间的保温层。外热屏层和内热屏层一般采用等静压高纯石墨材料。外热屏层和内热屏层使用时容易出现开裂现象；严重的，还可能因为外热屏层的断裂导致热屏直接掉落在单晶炉内，导致闷炉现象。

实用新型内容

基于此，有必要针对外热屏层易掉落的现象，提供一种可以有效防止因外热屏层开裂而掉落的单晶炉内悬挂的热屏。

一种单晶炉内悬挂的热屏，包括外热屏层、内热屏层以及位于所述外热屏层与所述内热屏层之间的保温层，所述外热屏层包括主体部和所述位于主体部上端的外沿部；

所述热屏还包括固定于所述外热屏层内侧的加固件，所述加固件位于所述外热屏层与所述保温层之间；

所述加固件具有第一固定端和第二固定端，所述加固件的第一固定端与所述外热屏层的主体部内侧固定，所述加固件的第二固定端与所述外热屏层的外沿部固定。

上述热屏具有加固件，加固件具有第一固定端和第二固定端，加固件的第一固定端与外热屏层的外沿部固定连接，第二固定端与外热屏层的主体部的内侧连接，有效的加固外热屏层的外沿部与主体部，防止了外热屏层的外沿部与主体部衔接处开裂，从而有效防止热屏的掉落。

在其中一个实施例中，所述加固件为若干个。

在其中一个实施例中，若干个所述加固件均匀分布在所述外热屏层的内侧。

在其中一个实施例中，所述加固件呈弯折的杆状。

在其中一个实施例中，所述加固件为金属杆。

在其中一个实施例中，所述金属杆为钼杆。

在其中一个实施例中，所述外热屏层的主体部与所述加固件的第一固定端通过螺栓固定连接。

在其中一个实施例中，所述螺栓为碳碳螺栓。

在其中一个实施例中，所述外热屏层的外沿部与所述加固件的第二固定端通过螺钉固定连接。

在其中一个实施例中，所述螺钉为钼螺钉。

附图说明

图1为本实用新型一优选实施例的热屏的截面示意图。

其中，相关元件对应编号如下：

100、热屏 110、外热屏层111、主体部

112、外沿部 120、内热屏层130、保温层

140、加固件 141、第一固定端142、第二固定端

150、螺栓 160、螺钉

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

图1所示为本优选一实施例提供的单晶炉内悬挂的热屏100，其包括外热屏层110、内热屏层120、位于外热屏层110与内热屏层120之间的保温层130及三个固定于外热屏层110内侧的加固件140，加固件140位于外热屏层110与保温层130之间。需要说明的是，本实用新型的加固件140不仅限于三个，还可以是一个或多个。

以下针对热屏100内各个元件及其相互之间的连接关系作详细说明。

如图1所示，外热屏层110包括主体部111和位于主体部111上端的外沿部112。保温层130位于外热屏层110与内热屏层120之间，起保温作用。在本实施例中，保温层130为软毡层。