[实用新型]一种光学镜筒高效降温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学镜筒技术领域，具体涉及一种光学镜筒高效降温装置。

背景技术

光学镜筒是不可或缺的光学部件，光线通过安装在镜筒中的镜片作用到工作面，达到光路设计人员设计的效果。在工作时，光学镜筒随着温度变化会产生形变，镜筒中镜片则发生了不该有的位移，如何控制镜筒的变形量是使用过程中的难题。特别是在精密的光刻设备中，穿过镜片的是高能量的激光，伴有大量的热量，镜筒形变的情况出现更是普遍。而受热变形的镜筒会扭曲光路，最终设备无法正常工作。如何限制光学镜筒的高温形变已经成为急需解决的技术问题。目前市场上的镜筒降温装置，都存在这一些瑕疵，如效率较低、降温不均匀等缺陷，造成对于镜筒温度的降低不均匀、降低的温度不理想。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供一种光学镜筒高效降温装置，通过水冷以及风冷的结合可以快速带走光学镜筒上的热量，避免升温造成镜片的形变。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种光学镜筒高效降温装置，包括镜筒，所述镜筒内设置镜片，所述镜筒外侧对应所述镜片设置导热机构，所述导热机构上设置混合降温机构，所述导热机构与所述镜筒之间设置均匀导热层；

所述导热机构包括设置在所述镜筒上的两个环形的固定槽，两个所述固定槽上设置截面为矩形的环形盖板，所述环形盖板对应所述固定槽设置连接卡板，所述连接卡板卡入所述固定槽内，所述环形盖板内为环形的冷却腔体，所述冷却腔体内设置一个隔断板，所述均匀导热层设置在所述环形盖板与所述镜筒表面之间；

所述混合降温机构包括所述隔断板一侧在所述环形盖板上设置的进水口和进气口以及另一侧在所述环形盖板上设置的出水口和出气口，所述环形盖板靠近所述镜筒一侧的内表面设置螺旋管道，所述螺旋管道的两端分别与所述进水口和出水口连通，所述进气口和出气口与所述冷却腔体连通，所述进水口和出水口与冷却水循环机构连通，所述进气口和出气口与气体供应机构连通。

进一步的，所述均匀导热层包括导热硅胶。

进一步的，所述固定槽截面为T型，所述连接卡板对应所述固定槽设置截面为T型的固定密封条。

进一步的，所述固定密封条采用弹性橡胶制件。

进一步的，所述冷却水循环机构包括与所述进水口和出水口连通的循环管道，所述循环管道上设置储液箱，所述储液箱内设置与所述循环管道连通的水泵，所述储液箱上设置散热机构。

进一步的，所述散热机构包括对应所述储液箱设置的冷却风扇，所述储液箱采用铜制材料制件。

进一步的，所述气体供应机构包括与所述进气口连通的进气管，所述进气管的另一端设置气泵，所述出气口与排气管连通，所述排气管另一端设置在室外。

本实用新型提供一种光学镜筒高效降温装置，镜筒的外侧对应所述镜片设置导热机构，用于传递镜筒上的热量，可以扩大与混合降温机构的接触面积，且加速热量的传递，采用混合降温机构可以保证降温的效率，避免高温影响镜片形变，从而影响生产。导热机构与镜筒之间设置均匀导热层，因为传统的降温技术对于镜筒侧面的降温并不均匀，容易导致镜筒部分区域温度过低而部分区域温度过高，通过均匀导热层可以将热量均匀的传播出去，保证镜筒上温度的统一。

导热机构是将镜筒的热量传递给混合降温机构，其包括设置在所述镜筒上的两个环形的固定槽，两个所述固定槽上设置截面为矩形的环形盖板，所述环形盖板对应所述固定槽的一侧设置连接卡板，所述连接卡板卡入所述固定槽内，所述环形盖板内为环形的冷却腔体，所述冷却腔体内设置一个隔断板，通过固定槽在镜筒外侧固定一个截面为矩形的环形盖板，环形盖板内的冷却腔体可以通入冷却水以及空气，实现双重降温。此外，环形盖板通过连接卡板设置在固定槽上，这就使得在环形盖板与所述镜筒表面之间设置所述均匀导热层，通过采用导热硅胶，可以将镜筒开进镜片部位的热量均匀传播开来，使得大面积的环形盖板同时进行均匀散热。连接卡板与固定槽相配合，对环形盖板进行固定。