[实用新型]籽晶夹持器及晶体生长设备有效
申请号: | 201720234579.7 | 申请日: | 2017-03-09 |
公开(公告)号: | CN206706250U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 戎峻;杨勇;陈翼;吴勇强 | 申请(专利权)人: | 青海晶煜晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 刘哲源 |
地址: | 810000 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 籽晶 夹持 晶体生长 设备 | ||
1.一种籽晶夹持器,其特征在于,包括籽晶夹持杆和连接机构,所述籽晶夹持杆包括连接段,所述连接段的端部设置有第一连接结构,所述籽晶夹持杆沿其长度方向向所述第一连接结构的投影落在所述第一连接结构内;
所述连接机构包括第二连接结构,所述第二连接结构包括由内向外直径逐渐减小的孔槽,所述籽晶夹持杆的连接段与所述孔槽套接,且所述连接段的杆壁与所述孔槽内壁之间设置有紧固件,所述紧固件包括套管端和锥管端,所述套管端的端面用于抵住所述第一连接结构,所述锥管端的外壁呈锥面,用于与所述孔槽的内壁相抵,且所述紧固件的最大外径大于所述孔槽开口直径,防止所述籽晶夹持杆脱离所述第二连接结构;
所述套管端的外壁与孔槽内壁之间具有横向间隙,所述连接段与第二连接结构套接后,所述第一连接结构的内侧具有竖向间隙,所述横向间隙和竖直间隙用于向所述籽晶夹持杆提供摆动空间。
2.根据权利要求1所述的籽晶夹持器,其特征在于,所述紧固件包括第一夹紧单元和第二夹紧单元,所述第一夹紧单元和第二夹紧单元用于夹持在所述籽晶夹持杆连接段的杆壁上。
3.根据权利要求2所述的籽晶夹持器,其特征在于,所述第一夹紧单元和第二夹紧单元的贴合面上对应设置有凸起和凹槽,所述凸起与凹槽组合后,保证所述第一夹紧单元和第二夹紧单元在所述紧固件长度方向上具有相同的运动状态。
4.根据权利要求2所述的籽晶夹持器,其特征在于,沿所述紧固件长度方向,所述紧固件的外壁上设置有向所述锥管端开口方向延伸的开槽。
5.根据权利要求1所述的籽晶夹持器,其特征在于,所述连接机构包括第三连接结构,所述第三连接结构用于与晶体生长设备上的连接杆连接,所述第三连接结构与紧固件之间设置有限位件,所述限位件用于阻止所述晶体生长设备上的连接杆进入到所述竖向间隙内。
6.根据权利要求5所述的籽晶夹持器,其特征在于,所述限位件为与第一连接结构套接的限位管。
7.根据权利要求1所述的籽晶夹持器,其特征在于,籽晶夹持杆包括籽晶卡槽,所述籽晶卡槽相对内壁上对应设置有第一固定结构,所述第一固定结构用于挂住籽晶。
8.根据权利要求7所述的籽晶夹持器,其特征在于,所述第一固定结构靠近所述籽晶夹持杆内部的面为斜面,自所述连接机构向所述籽晶卡槽方向,两个所述斜面之间的距离逐渐减小。
9.根据权利要求7所述的籽晶夹持器,其特征在于,所述籽晶卡槽的外壁上设置有绕线槽。
10.一种晶体生长设备,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的籽晶夹持器。
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