[实用新型]一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备

权利要求书

1.一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备，该设备包括原料水系统（1）、净化系统（2）、自动甄别控制系统（3）、成品水系统（4）和酸洗罐（5）；所述的原料水系统（1）通过管道依次与所述的净化系统（2）和所述的成品水系统（4）相连；所述的自动甄别控制系统（3）通过管道分别与所述的原料水系统（1）和成品水系统（4）相连；所述的酸洗罐（5）通过输液泵与所述的净化系统（2）中的主过滤装置（21）进行回路连接。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备，其特征在于：所述的原料水系统（1）由原料水采集箱（11）、自动控制阀I（12）和原料水箱（13）组成，并通过管道依次连接；所述的自动控制阀I（12）上端分别与所述的原料水采集箱（11）、自动甄别控制系统（3）相连，下端分别与所述的原料水箱（13）和污水处理系统（6）相连。

3.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备，其特征在于：所述的净化系统（2）由主过滤装置（21）和超微过滤装置（22）组成；所述的主过滤装置（21）上端与所述原料水箱（13）相连，下端与所述的超微过滤装置（22）相连；所述的过滤装置（21）与所述的酸洗罐（5）通过泵进行回路连接。

4.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备，其特征在于：所述的自动甄别控制系统（3）由实时甄别装置（31）和自动控制装置（32）组成；所述的实时甄别装置（31）上端分别与所述的原料水采样箱（11）和成品水采样箱（41）相连，下端与所述的自动控制系统（32）相连；所述的自动控制系统（32）上端与所述的实时甄别装置（31）相连，下端分别与所述的自动控制阀I（12）和自动控制阀II（42）相连。

5.如权利要求1所述的一种多晶硅生产过程中高温凝结水回收利用组合式设备，其特征在于：所述的成品水系统（4）由成品水采样箱（41）、自动控制阀II（42）、成品水箱（43）组成；成品水采样箱（41）上端与所述的净化系统（2）中的超微过滤装置（22）相连，下端依次与所述的自动控制阀II（42）、成品水箱（43）相连；所述的自动控制阀II（42）上端分别与所述的成品水采集箱（41）、自动控制系统（32）相连，下端分别与所述的成品水箱（43）、原料水箱（13）相连。