[实用新型]取晶车支撑架有效
申请号: | 201720228510.3 | 申请日: | 2017-03-09 |
公开(公告)号: | CN206580914U | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 孟宗兴;孟橙宏;吕宇轩;赵宇琦;孟赞 | 申请(专利权)人: | 北京宏兴恒业精密机械有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司11508 | 代理人: | 郑博文 |
地址: | 101100 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 取晶车 支撑架 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶车功能组件,特别涉及一种取晶车支撑架。
背景技术
单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶,所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化,再用子晶向上拉引,慢慢形成一个长筒状的单晶棒,在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。
取晶车通常包括车架,在车架上会设置有接收晶棒的支撑架,所述支撑架呈长条状设置,在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座,所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向,在支撑架垂直于车架的时候,所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构,在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后,支撑架再退回至原位,在旋转至与车架平行的状态,通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。
现有技术中晶棒均是采用液压机械手的方式从支撑座内取出,再液压机械手仅能夹持一端,晶棒其他部位夹持不到,所以很容易出现夹持不稳而摔碎的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种取晶车支撑架,便于晶棒从支撑座内取出。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种取晶车支撑架,包括有底板,所述底板间隔设置有与其平行的定位板,所述定位板与底板之间设置有连接组件,所述定位板与其底部处设置有用于支撑晶棒的支撑座,所述定位板上设置有沿其长度方向设置的滑移槽,所述支撑座上设置与滑移槽配合的滑块,所述定位板相对于底板的另一侧端部设置有驱动滑块沿滑移槽滑移的驱动组件。
进一步的,所述驱动组件包括有位于定位板长度方向上两个端部的转轴、定位于转轴上与其联动的驱动链轮以及绕设于驱动链轮上的驱动链条,所述转轴轴向定位于定位板上,其中一根转轴上设置有驱动该转轴转动的驱动电机。
进一步的,所述驱动电机的轴端设置有二级齿轮减速器,所述二级齿轮减速器与转轴之间设置有传动组件。
进一步的,每一根所述转轴均设置有用于轴向定位转轴的轴承座。
进一步的,所述的传动组件设置为定位于转轴以及二级齿轮减速器输出端的传动链轮以及套设于该两个传动链轮之间的传动链条。
进一步的,所述滑块穿过滑移槽一侧设置有滑座,所述定位板上设置于与滑座配合的导轨,所述滑座上设置有与导轨配合的导槽。
进一步的,所述滑座上设置有与驱动链条固定连接的固定架,所述固定架上设置有供驱动链条穿过的安装槽。
进一步的,所述定位板上设置有行程开关,所述行程开关位于定位板相对于支撑座的另一侧。
采用上述结构,在支撑架位于水平位置的时候,驱动组件驱动支撑座沿滑移槽的设置方向位移,支撑座带动晶棒朝着支撑架的开口方向将晶棒水平推出,在推出过程中可以在推出一定长度后通过液压机械手夹持,这时所能夹持的区域比较大, 比较容易掌握重心,使得夹持更稳定,或者通过高度与取晶车相同的平台作为支撑,也可以比较方便的将晶棒从支撑架内取出,从而达到了可以更加安全的取出晶棒的目的。
附图说明
图1是支持架结构示意图;
图2是取晶车整体结构示意图;
图3是A部放大图。
图中,1、支撑座;11、定位板;12、底板;13、导向辊;2、连接组件;21、槽钢;22、连接杆;3、滑块;4、滑移槽;5、滑座;51、固定架;61、导轨;62、导槽;7、驱动组件;71、驱动链轮;72、轴承座;73、转轴、74、驱动链条;8、驱动电机;81、二级齿轮减速器;9、传动组件;91、传动链轮;92、传动链条;10、行程开关。
具体实施方式
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