[实用新型]一种紫外激光远心F‑theta扫描场镜

权利要求书

1.一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，从激光入射方向开始，包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，其中所述的第一透镜为双凹负透镜，第二透镜为凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第三透镜凹面朝向入射光侧的弯月正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为凸平正透镜，其中凸面朝向入射光侧。

2.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜的焦距与扫描场镜的焦距满足：-1＜f₁/f＜-0.4，3＜f₂/f＜5.5，1.8＜f₃/f＜3.5，1＜f₄/f＜2.5，1.8＜f₅/f＜3.5，其中，f₁为第一透镜的焦距，f₂为第二透镜的焦距，f₃为第三透镜的焦距，f₄为第四透镜的焦距，f₅为第五透镜的焦距，f为扫描场镜的焦距。

3.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，第一透镜的第一面曲率半径满足：-50mm＜R₁＜-20mm，R₁为第一透镜的第一面曲率半径。

4.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，第一透镜的两个球面S₁和S₂，其曲率半径分别为-38.28mm和426.05mm，第一透镜的中心厚度为3mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第二透镜的两个球面S₃和S₄，其曲率半径分别为-92.82mm和-72.04mm，第二透镜的中心厚度为21.16mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第三透镜的两个球面S₅和S₆，其曲率半径分别为-474.92mm和-92.55mm，第三透镜的中心厚度为12.32mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第四透镜的两个球面S₇和S₈，其曲率半径分别为4266.52mm和-88.69mm，第四透镜的中心厚度为18.36mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68；

第五透镜的两个球面S₉和S₁₀，其曲率半径分别为144.33mm和无穷大，第五透镜的中心厚度为13.44mm，材料为熔石英玻璃，其折射率为N_d＝1.46，阿贝数V_d为68。

5.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，第一透镜与第二透镜之间在光轴上的空气间隙为3.95mm，第二透镜与第三透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm，第三透镜与第四透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm，第四透镜与第五透镜之间在光轴上的空气间隙为0.5mm，第五透镜与像面在光轴上的空气间隙为153.27mm。

6.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，所述的扫描场镜的入射光束波长为355nm。

7.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，所述的扫描场镜的全视场内像面主光线与像面倾斜角<1.5°。

8.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，所述的扫描场镜的全视场内波像差<λ/10。

9.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，所述的扫描场镜的大的工作视场φ>90mm。

10.根据权利要求1所述的一种紫外激光远心F-theta扫描场镜，其特征在于，第一透镜距离振镜的距离为20mm-50mm。