[实用新型]一种键合丝用在线退火机入线清洗装置

权利要求书

1.一种键合丝用在线退火机入线清洗装置，其特征在于，所述在线退火机的入线段和退火段之间设置有清洗段，所述清洗段包括清洗槽（1），所述清洗槽（1）的中部设置有至少三根纵向的导轮，位于中间的导轮一（2）的高度低于其两侧的在同一高度的导轮二（3）；在所述清洗槽（1）中填充有清洗液（4），所述清洗液（4）的液面浸没所述导轮一（2）的下边缘；在所述清洗槽（1）的底部安装有超声波发生器（5），在所述清洗槽（1）的两个相对侧面上开设有进线孔（6）。

2.根据权利要求1所述的一种键合丝用在线退火机入线清洗装置，其特征在于，所述进线孔（6）与所述导轮二（3）的上表面位于同一条直线上。

3.根据权利要求1所述的一种键合丝用在线退火机入线清洗装置，其特征在于，在所述清洗槽（1）顶部的一条横向侧边上铰接有槽盖（7）。

4.根据权利要求1所述的一种键合丝用在线退火机入线清洗装置，其特征在于，所述清洗槽的尺寸为10cm×10cm×10cm。

5.根据权利要求1所述的一种键合丝用在线退火机入线清洗装置，其特征在于，所述清洗槽的材质为塑料。