[实用新型]一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及机械设备领域，尤其是一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置。

背景技术：

多晶硅铸锭炉是太阳能工业设计的专用设备，因其可以通过控制技术，将硅锭高温熔融后通过特殊工艺实现对多晶硅的稳定定向凝固结晶，因此在对多晶硅铸锭进行加工处理时通常是采用铸锭炉对其进行加工处理。经铸锭炉加工处理过后的多晶硅，后续会经过多晶硅片切片机对其进行切割，随着切片技术的发展，目前切片技术已经由砂线切割向金刚线切割进行转型过渡，因金刚线切割技术具有成本低、切割效果好等优势，因此目前金刚线切割技术得到越来越多的应用。在对多晶硅采用金刚线切割时，通常要求经多晶硅铸锭炉处理之后的多晶硅铸锭需要满足较低的碳氧含量。但是，通过现有的多晶硅铸锭炉生产的多晶硅铸锭其碳氧含量通常较高，无法满足线切割时所要求的条件，主要是因为现有的多晶硅铸锭炉在进行工作时其炉体内部保持负压，然后通过在炉腔内通氩气等保护气体的方式带走杂质气体。采用这种方式时，因炉体系统本身设计的特点导致在硅液的上部和盖板之间存在一定的湍流，从而会导致杂质气体回流形成二次污染，无法有效排除硅锭中的碳氧杂质，因而使用现有的多晶硅铸锭炉所生产出来的多晶硅铸锭其碳氧含量无法满足现代金刚线切割技术的要求，显然现有的铸锭炉无法更有效地满足人们的需求。

实用新型内容：

本实用新型提供了一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置，它结构简单，设计合理，操作简单，在对多晶硅进行处理时可以快速对其进行加热，护板上设计有导流功能，能够有效的对气体流动方式进行控制控制，快速有效进行排杂，防止杂质气体倒流，有效的加工过程中装置内的碳氧杂质同时降低了加工处理出来的多晶硅的碳氧含量，能满足金刚线切割所需的多晶硅的适用条件，更有效地满足了人们的需求，解决了现有技术中存在的问题。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置，包括一下壳体，在下壳体的空腔内设有一通过支撑柱固连在下壳体空腔底部的支撑板，在支撑板顶部设有一坩埚，在坩埚的各棱角处分别竖直设有一固连在支撑板上的限位杆，在各相邻的限位杆下部的支撑板上设有一卡槽，在卡槽内插装一内侧壁与坩埚外侧壁相抵接的护板，所述护板包括一底部竖直插装在其对应位置上的卡槽内且内侧壁与坩埚外侧壁相抵接的固定板，在固定板的顶部设有一内端底部与坩埚顶部相抵接的平板，平板的顶部沿其前后方向分别竖直设有若干个插装孔，在各插装孔上部左侧分别设有一穿出平板内侧壁的内导气孔，在各插装孔下部右侧分别设有一穿出平板外侧壁的外出气孔，在下壳体上方罩设一上壳体，在上壳体的空腔内设有一与坩埚顶部相抵接的顶部加热板，在顶部加热板上设有两导电石墨柱，在两导电石墨柱之间的顶部加热板上竖直设有一与坩埚内腔相连通设置的进气管；导电石墨柱通过导线与外部电源相连通设置。

在各外出气孔的平板外侧壁上分别固连一防倒流圆台管，所述防倒流圆台管为一中空设置的右端管径逐渐减小的圆台状导管。

在各护板的外侧分别设有一侧加热板，各侧加热板通过导线与外部电源相连通设置。

在各插装孔内分别插装一中空设置的插装管，在各插装管的上部与下部分别设有一与外出气孔、内导气孔相连通设置的过渡孔。

本实用新型所具有的有益效果是，结构简单，设计合理，操作简单，在对多晶硅进行处理时可以快速对其进行加热，护板上设计有导流功能，防倒流圆台管能够有效的对气体流动方式进行控制控制，通过转动插装管可以控制护板上的内导气孔与外出气孔的连通与否，从而控制出气速度，快速有效进行排杂，防止杂质气体倒流，有效的加工过程中装置内的碳氧杂质同时降低了加工处理出来的多晶硅的碳氧含量，能满足金刚线切割所需的多晶硅的适用条件，更有效地满足人们的需求。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型去除上壳体的结构示意图。

图3为本实用新型的局部结构示意图。

图4为本实用新型中护板位置一的结构示意图。

图5为本实用新型中护板位置二的结构示意图。

图中，1、下壳体；2、支撑柱；3、支撑板；4、坩埚；5、限位杆；6、卡槽；7、护板；8、固定板；9、平板；10、插装孔；11、内导气孔；12、外出气孔；13、上壳体；14、顶部加热板；15、导电石墨柱；16、进气管；17、防倒流圆台管；18、侧加热板；19、插装管；20、过渡孔。

具体实施方式：