[实用新型]一种金属材料高温真空退火炉

权利要求书

1.一种金属材料高温真空退火炉，其特征在于，所述金属材料高温真空退火炉包括：主真空舱组件、真空预抽室组件、抽真空组件和第一插板阀，所述主真空舱组件与所述真空预抽室组件之间设置所述第一插板阀，所述抽真空组件分别与所述主真空舱组件和所述真空预抽室组件连接。

2.根据权利要求1所述的金属材料高温真空退火炉，其特征在于，所述主真空舱组件包括：炉壳体、主真空室舱门、石英观察窗、隔热屏、炉芯和退火样品台，所述炉壳体一端设置主真空室舱门，所述主真空室舱门用于密封炉壳体，所述炉壳体另一端与所述第一插板阀一端连接，所述炉壳体内的中心部分为炉芯，炉芯为钼板条加热体围成的圆柱形空心结构，炉芯外侧包裹多层隔热屏，所述炉芯内设置退火样品台。

3.根据权利要求2所述的金属材料高温真空退火炉，其特征在于，所述真空预抽室组件包括：预抽室、预抽室舱门、低温气体喷嘴、预抽室样品座和机械手，所述预抽室舱门设置于所述预抽室的侧壁上，所述预抽室一端与所述第一插板阀另一端连接，所述预抽室另一端采用法兰密封，法兰中部设有通孔，所述机械手一端与通孔配合保证密封并穿过通孔置于预抽室内部，所述预抽室内设置预抽室样品座，所述低温气体喷嘴一端设置于预抽室内，另一端设置于预抽室外侧，与低温气源连接。

4.根据权利要求3所述的金属材料高温真空退火炉，其特征在于，所述抽真空组件包括：第一真空规、第二插板阀、分子泵、第一电磁阀、第二真空规、机械泵、波纹管和第二电磁阀，所述第二插板阀一端通过管路与所述炉壳体连接，所述第二插板阀与所述炉壳体连接的管路上设置第一真空规，所述第二插板阀另一端与分子泵一端连接，所述分子泵另一端与所述第一电磁阀一端连接；所述第二电磁阀一端与所述预抽室连接，所述第二电磁阀另一端通过波纹管及一三通阀分别连接所述机械泵和第一电磁阀另一端，所述三通阀上设置第二真空规。

5.根据权利要求4所述的金属材料高温真空退火炉，其特征在于，所述第一真空规为高真空规。

6.根据权利要求4所述的金属材料高温真空退火炉，其特征在于，所述第二真空规为低真空规。