[实用新型]一种石墨加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及石墨加工设备技术领域，尤其涉及一种石墨加热器。

背景技术

在硅晶体制备过程中，需要通过加热实现，现有多采用石墨材料作为加热器件，由于石墨具有耐高温、电阻率高、强度随着温度提高而增加等特点，石墨加热器能够提供所需的热量。

但是，现有的石墨加热器由于受热不均，造成硅晶体报废。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种石墨加热器，解决了现有技术中石墨加热器由于受热不均，造成硅晶体报废的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种石墨加热器，包括第一石墨电阻、第二石墨电阻、第三石墨电阻、卡槽固定件、正石墨电极和负石墨电极，所述第一、第二、第三石墨电阻均呈来回盘旋的结构，且每个石墨电阻的形成的来回盘旋的结构均在波峰处间距张开，在波谷处间距收拢，三个石墨电阻首尾通过卡槽固定件连接围绕形成上宽下窄的漏斗型加热器，所述正石墨电极和负石墨电极通过螺栓固定于所述漏斗型加热器相对的两端。

进一步地，所述卡槽固定件具体为两端可插接的插槽。

进一步地，所述石墨电阻形成的来回盘旋的结构中相邻的来回盘旋的结构之间填充有石墨垫块。

进一步地，还包括底部发热体，所述底部发热体与所述漏斗型加热器底部对接，且所述底部发热体内填充石墨。

本实用新型实施例至少具有如下技术效果或优点：

由于采用该三个石墨电阻收尾通过卡槽固定件连接围绕形成上宽下窄的漏斗型加热器，将正、负石墨电极通过螺栓固定于漏斗型加热器相对的两端，从而能够使得待加热硅晶体受热均匀。

附图说明

图1为本实用新型实施例中石墨加热器的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例通过提供一种石墨加热器，解决了现有技术中石墨加热器由于受热不均，造成硅晶体报废的技术问题。

为了解决上述技术问题，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。

本实用新型实施例提供了一种石墨加热器，如图1所示，包括第一石墨电阻10、第二石墨电阻20、第三石墨电阻30、卡槽固定件40、正石墨电极50和负石墨电极60，这三个石墨电阻均呈来回盘旋的结构，且每个石墨电阻的形成的来回盘旋的结构均在波峰处间距张开，在波谷处间距收拢，三个石墨电阻首尾通过卡槽固定件40连接围绕形成上宽下窄的漏斗型加热器，正石墨电极50和负石墨电极60通过螺栓固定于漏斗型加热器相对的两端。

在具体的实施方式中，该卡槽固定件40具体为两端可插接的插槽，这样，三个石墨电阻首尾连接时，可以通过该插槽连接，从而形成上宽下窄的漏斗型加热器。

该每个石墨电阻形成的来回旋转的结构中相邻的来回盘旋的结构之间填充有石墨垫块，防止加热过程中加热器变形。

该石墨加热器底端还设置有底部发热体，该底部发热体与漏斗型加热器底部对接，且底部发热体内填充石墨，形成有效的加热环境。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。