[实用新型]一种坩埚架

权利要求书

1.一种坩埚架，其特征在于，包括：两个活动分架，每个所述活动分架包括竖直支撑件和与所述竖直支撑件固定连接的水平承载件，两个所述活动分架相对放置、其水平承载件上下叠放，两个所述水平承载件相互之间设置有在竖直方向固定、在水平方向可相互滑动设置的水平滑动结构，用于调整坩埚架的水平长度。

2.根据权利要求1所述的坩埚架，其特征在于，所述水平滑动结构包括设置在一个所述活动分架的水平承载件上的至少一个水平滑动头(11)，和对应设置在另一个所述活动分架的水平承载件上的与所述水平滑动头(11)滑动配合的水平滑动槽(21)。

3.根据权利要求2所述的坩埚架，其特征在于，沿垂直于所述水平承载件宽度的截面，所述水平滑动槽(21)为远离所述水平滑动头(11)一端宽、靠近所述水平滑动头(11)的另一端窄的槽，所述水平滑动头(11)形状与所述水平滑动槽(21)相对应。

4.根据权利要求3所述的坩埚架，其特征在于，所述水平滑动槽(21)的一端具有适于水平滑动头(11)滑入的开口(23)。

5.根据权利要求2所述的坩埚架，其特征在于，至少两个以上所述水平滑动头(11)沿所述水平承载件的宽度方向分布，所述水平滑动槽(21)沿所述水平承载件的长度方向延伸，所述水平滑动槽(21)的数量与沿宽度方向分布的所述水平滑动头(11)的数量对应。

6.根据权利要求5所述的坩埚架，其特征在于，所述水平承载件的长度方向上具有若干个所述水平滑动头(11)。

7.根据权利要求2所述的坩埚架，其特征在于，所述水平滑动槽(21)相对的两侧壁之一上还设置有若干个适于所述水平滑动头(11)卡合的用 于限制所述水平滑动头(11)滑动的卡位(22)。

8.根据权利要求1-7任一所述的坩埚架，其特征在于，所述竖直支撑件包括与所述水平承载件固定连接的竖直支撑部(30)和与其滑动配合用于调整坩埚架的竖直高度的高度调节件(40)，以及用于在调整完毕后对所述竖直支撑部(30)和高度调节件(40)进行锁定的锁定结构。

9.根据权利要求8所述的坩埚架，其特征在于，所述竖直支撑部及所述高度调节件(40)之一上设置有至少一个竖直滑动头(50)，两者的另一个上设置有与所述竖直滑动头(50)配合的竖直滑动槽(60)。

10.根据权利要求9所述的坩埚架，其特征在于，所述锁定结构为设置在所述竖直滑动槽(60)相对的两侧面之一上与所述竖直滑动头(50)卡合的卡槽(61)。

11.根据权利要求9所述的坩埚架，其特征在于，至少两个以上所述竖直滑动头(50)沿所述竖直支撑件的宽度方向分布，所述竖直滑动槽(60)沿所述竖直支撑件的高度方向延伸，所述竖直滑动槽(60)的数量与沿宽度方向分布的所述竖直滑动头(50)的数量对应。

12.根据权利要求1所述的坩埚架，其特征在于，所述水平承载件靠近竖直支撑件一侧沿宽度方向上设置有凹槽(70)，用于与叠放在其上的另一坩埚架的竖直支撑件配合。

13.根据权利要求1所述的坩埚架，其特征在于，所述活动分架上开设有若干通风导热槽(80)。