[实用新型]硅料烘干装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，特别是涉及一种硅料烘干装置。

背景技术

在硅料的加工领域中，对于硅料，在生产环节经历加工、包装、搬运、运输等生产过程中，不可避免的要受到周围环境的污染。在硅料进入铸锭炉之前，要保证硅料的纯净，所以要硅料进行清洁清洗，去除其表面附着的颗粒、有机物杂质、金属污染物及自然氧化膜等污染物，从而保障硅片生产的质量。

硅料清洗机正是完成硅料清洗满足生产使用要求的自动化设备。它使用一系列设备作为保证，完成硅料表面污染物的清洗的工艺过程。

对硅料清洗时，整个工艺过程包含许多环节，如：预水洗-酸洗-超声水洗-漂洗-切水-烘干-下料等。

烘干操作是处于整个工艺链条的末端，且该烘干操作是在烘干装置内进行的，而烘干装置的槽门的密封性会影响的烘干的时间。传统的烘干装置的槽门打开时占用了烘干装置周边一定的空间，影响到机械手臂的搬运料的动作，进而也能增大了整个机械设备的高度及外围尺寸。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述烘干装置的槽门打开时占用了烘干装置周边一定的空间，进而导致增大了整个机械设备的高度及外围尺寸的问题，提供一种占用空间小的硅料烘干装置。

一种硅料烘干装置，包括：

本体，用以容纳硅料，所述本体包括底部及若干个侧壁，所述若干个侧壁围绕形成一开口；

设置于所述开口处的伸缩式密封机构，包括柔性伸缩盖，所述柔性伸缩盖具有固定端及与所述固定端相对的活动端，所述固定端固定于所述开口的一侧，所述活动端通过相对所述开口平向移动，使所述柔性伸缩盖延展封盖所述开口。

上述硅料烘干装置利用上述柔性伸缩盖对本体的开口部分进行封盖，不占用上述硅料烘干装置周边的空间，减小了真整体生产设备的尺寸。

在其中一个实施方式中，所述伸缩式密封机构还包括：

与围成所述开口的侧壁连接的框体；

设置于所述框体相对两侧的一对导向轨，所述柔性伸缩盖的固定端固定连接于所述导向轨的一端，所述柔性伸缩盖的活动端沿所述导向轨移动。

在其中一个实施方式中，至少一个导向轨为丝杠，所述柔性伸缩盖的活动端通过丝杠螺母与所述丝杠连接，所述伸缩式密封机构还包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构用以驱动所述丝杠转动，以使所述丝杠螺母沿丝杆轴向移动。

在其中一个实施方式中，所述旋转驱动机构为旋转驱动气缸。

在其中一个实施方式中，所述旋转驱动气缸设置于所述丝杆一端。

在其中一个实施方式中，所述柔性伸缩盖的活动端通过滑块与所述导向轨连接，以使所述活动端沿所述导向轨轴向移动。

在其中一个实施方式中，所述柔性伸缩盖的截面呈波浪形。

在其中一个实施方式中，所述柔性伸缩盖呈卷帘状。

在其中一个实施方式中，所述导向轨为导向滑杆或导向滑槽。

附图说明

图1为本实用新型一优选实施方式的硅料烘干装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本实用新型公开了一种硅料烘干装置100，该硅料烘干装置100包括本体110，该本体110主要用以容纳硅料，其中，该本体110主要底部及若干个侧壁，本实施方式中上述底部的形状为长方形，侧壁的个数为4个，分别与底部的四个侧壁111连接，并与该底部垂直设置，与该底部相对的，该四个侧壁111围成一开口，硅料通过该开口放置于上述本体110内。