[实用新型]一种石英坩埚夹持装置

权利要求书

1.一种石英坩埚夹持装置，其特征在于，包括顶板、环形板，所述顶板和环形板通过多个连接板连接，所述顶板上固定有立柱、注射泵和控制器，所述立柱顶端具有吊环，所述环形板的内侧固定有充满气时呈圆环形的气囊，所述气囊与所述注射泵通过管路连接，所述管路上具有电磁阀，所述电磁阀和注射泵均与所述控制器相连。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚夹持装置，其特征在于，所述顶板上还具有无线通信装置，所述无线通信装置与所述控制器相连。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚夹持装置，其特征在于，所述环形板的外侧固定连接有环形加强筋。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚夹持装置，其特征在于，所述顶板、环形板和连接板均由不锈钢材料制成。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚夹持装置，其特征在于，所述气囊充满气时的内径与所述环形板的内径相差大于2cm。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚夹持装置，其特征在于，所述顶板的下方固定有气缸，所述气缸与所述控制器相连，所述气缸的活动端具有吸盘。