[实用新型]一种导膜张力跳动杆

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种跳动杆，尤其涉及一种导膜张力跳动杆。

背景技术

在生产的压模设备中，现有的导膜机构没有跳动杆，只有导膜轮。如果在生产压膜中，出现光阻膜走膜倾斜，光阻膜在吸盘上出现斜条形皱褶，造成基板压膜膜皱问题，而由于导膜轮直接贯穿侧板，采用轴承配合直接固定于侧板上，不能根据具体需求来调节导膜轮的左右高度，因此无法解决光阻膜走膜倾斜造成的膜皱问题。

实用新型内容

为了解决上述技术所存在的不足之处，本实用新型提供了一种导膜张力跳动杆。

为了解决以上技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种导膜张力跳动杆，包括导膜轮、中心轮、配重轴心、左固定板、右固定板、紧固螺帽和轴承；导膜轮安装在左固定板、右固定板之间，中心轮安装在左固定板、右固定板之间；导膜轮位于中心轮的下方；

配重轴心安装在左固定板、右固定板之间，位于中心轮的上方；配重轴心与左固定板、右固定板连接的两端通过紧固螺帽固定连接；导膜轮和中心轮与左固定板、右固定板连接的两端分别通过轴承连接。

导膜轮和中心轮的轴心上用C型卡环限位。

紧固螺帽与左固定板、右固定板之间预留MM间隙。

中心轮到配重轴心的间距和中心轮到导膜轮的间距相等。

配重轴心的重量大于导膜轮的重量。

本实用新型导膜效果好，调整方便，结构简单、安装方便，成本低廉，提高了设备稳定性和上产良率，通过调节螺杆调整导膜轮的左、右高度，导正光阻膜走膜，解决光阻膜走膜倾斜造成的膜皱问题。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型结构示意图。

图2是本实用新型的整体动作示意图。

图中：1、导膜轮；2、中心轮；3、配重轴心；4、左固定板；5、紧固螺帽；6、轴承；7、右固定板；8、光阻膜；9、分膜轮；10、导膜张力跳动杆组；11、调节螺杆；12、分区吸膜盘组；13、整平吸盘；14、压膜轮；15、基板。

具体实施方式

如图1～图2所示，本实用新型包括导膜轮1、中心轮2、配重轴心3、左固定板4、右固定板7、紧固螺帽5和轴承6；导膜轮1安装在左固定板4、右固定板7之间，中心轮2安装在左固定板4、右固定板7之间；导膜轮1位于中心轮2的下方；配重轴心3安装在左固定板4、右固定板7之间，位于中心轮2的上方；配重轴心3与左固定板4、右固定板7连接的两端通过紧固螺帽5固定连接；导膜轮1和中心轮2与左固定板4、右固定板7连接的两端分别通过轴承6连接。

本实用新型在导膜轮1和中心轮2的轴心上用C型卡环限位，并在紧固螺帽5与左固定板4、右固定板7之间预留1MM间隙，保证可以左右活动。左固定板4、右固定板7以中心轮2的轴心左右扭动，优先为在中心轮2的轴心左右20°角运动，从而改变导膜轮1的左右高度。

本实用新型中心轮2到配重轴心3的间距和中心轮2到导膜轮1的间距相等，且配重轴心3的重量大于导膜轮1的重量，可以利用杆杆原理，使得配重轴心3向下作用力，起到张力作用配合配重轴心3起到张力作用。

本实用新型的具体动作过程：光阻膜8通过分膜轮9到达导膜张力跳动杆组10的导膜轮1，然后绕过中心轮2、导膜轮1、经过分区吸膜盘组5进入压膜轮14压膜。如果在生产压膜中，出现光阻膜走膜倾斜，光阻膜8在吸盘上出现斜条形皱褶，造成基板15压膜膜皱问题，这时可以通过调节螺杆11调整导膜轮1左、右高度，导正光阻膜走膜，解决光阻膜走膜倾斜造成的膜皱问题。

上述实施方式并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不仅限于上述举例，本技术领域的技术人员在本实用新型的技术方案范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也均属于本实用新型的保护范围。