[实用新型]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，

具备：

支撑部，其支撑加工对象物；

激光光源，其射出激光；

反射型空间光调制器，其调制并反射所述激光；

聚光光学系统，其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光；及

成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统，

从所述反射型空间光调制器到达所述聚光光学系统的所述激光的光路中至少通过所述成像光学系统的所述激光的光路为一条直线，

所述两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述成像光学系统包含所述反射型空间光调制器侧的第一透镜系统及所述聚光光学系统侧的第二透镜系统，

所述倍率M、所述第一透镜系统的第一焦点距离f1及所述第二透镜系统的第二焦点距离f2满足M＝f2/f1。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述倍率M满足0.6≦M≦0.95。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述倍率M满足1.05≦M≦1.7。

5.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，

所述第一透镜系统及所述第二透镜系统被保持于支架，

所述支架恒定地维持沿着所述激光的光轴的方向上的所述第一透镜系统及所述第二透镜系统彼此的位置关系，

沿着所述激光的光轴的方向上的所述第一透镜系统及所述第二透镜系统的位置调整通过所述支架的位置调整来实施。