[实用新型]激光加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光加工装置。

背景技术

专利文献1中记载有一种激光加工装置，其具备保持工件的保持机构和对保持于保持机构的工件照射激光的激光照射机构。该激光加工装置的激光照射机构中，将在从激光振荡器到聚光透镜的激光的光路上配置的各结构配置于1个筐体内，并将该筐体固定于竖立设置于激光加工装置的基台的壁部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5456510号公报

实用新型所要解决的课题

有时在上述那样的激光加工装置中设置对激光进行调制并进行反射的反射型空间光调制器。这种的情况下，将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像(反射型空间光调制器中调制的激光的像)在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像(成像)是极其重要的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。

用于解决课题的方案

本实用新型提供一种激光加工装置，其具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射激光；聚光光学系统，其使激光相对于加工对象物进行聚光；成像光学系统，其构成反射型空间光调制器的反射面和聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统；以及，反射镜，其将通过了成像光学系统的激光向聚光光学系统进行反射；反射型空间光调制器将激光沿着规定的平面以锐角进行反射，从反射型空间光调制器经由成像光学系统到达反射镜的激光的光路以沿着平面的方式设定，从反射镜到达聚光光学系统的激光的光路以沿着与平面交叉的方向的方式设定。

该激光加工装置中，从反射型空间光调制器经由成像光学系统到达反射镜的激光的光路以沿着规定的平面(包含对反射型空间光调制器射入射出的激光的光路的平面)的方式设定，从反射镜到达聚光光学系统的激光的光路以沿着与该平面交叉的方向的方式设定。由此，例如，能够使激光作为P偏振光反射向反射型空间光调制器且使激光作为S偏振光反射向反射镜。这在将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像时是非常重要的。另外，反射型空间光调制器将激光以锐角进行反射。抑制激光相对于反射型空间光调制器的入射角及反射角在抑制衍射效率的降低且充分发挥反射型空间光调制器的性能上是非常重要的。通过以上构成，根据该激光加工装置，可以将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。

本实用新型的激光加工装置中，从反射镜到达聚光光学系统的激光的光路也可以以沿着与平面正交的方向的方式设定，反射镜将激光以直角进行反射。由此，可以将从反射型空间光调制器到达聚光光学系统的激光的光路以直角进行处理。

本实用新型的激光加工装置中，反射镜也可以是二向色镜。由此，可以将透射了二向色镜的激光的一部分用于各种用途。

本实用新型的激光加工装置中，反射型空间光调制器也可以将激光作为P偏振光进行反射，反射镜将激光作为S偏振光进行反射。由此，可以将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像。

本实用新型的激光加工装置还具备偏振光方向调整部，该偏振光方向调整部配置于从激光光源到反射型空间光调制器的激光的光路上，并调整激光的偏振光方向。由此，反射型空间光调制器可以具备将激光以锐角进行反射的功能并调整激光的偏振光方向，因此，可以将从激光光源到达反射型空间光调制器的激光的光路以直角进行处理。

实用新型效果

根据本实用新型，可以提供能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的像在聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像的激光加工装置。

附图说明

图1是用于形成改质区域的激光加工装置的概略结构图；

图2是成为形成改质区域的对象的加工对象物的平面图；

图3是沿着图2的加工对象物的III-III线的剖面图；

图4是激光加工后的加工对象物的平面图；

图5是沿着图4的加工对象物的V-V线的剖面图；

图6是沿着图4的加工对象物的VI-VI线的剖面图；

图7是实施方式的激光加工装置的立体图；

图8是安装于图7的激光加工装置的支撑台的加工对象物的立体图；

图9是沿着图7的ZX平面的激光输出部的剖面图；