[实用新型]氯硅烷废气吸收设备

权利要求书

1.一种氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，包括：

吸收罐，所述吸收罐内部形成有容置空间，所述容置空间内容置有用于吸收氯硅烷废气的吸收液；

进气管，设于所述吸收罐的顶部，所述进气管的第一端插设于所述吸收液内，所述进气管的第二端位于所述吸收罐的外侧且设有进气口；

排气管，设于所述吸收罐的顶部，所述排气管的第一端连通于所述容置空间，所述排气管的第二端连接至氯硅烷二次吸收装置；以及

用于向外排出所述吸收液的排液管，设于所述吸收罐的底部且连通所述容置空间。

2.根据权利要求1所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述吸收罐包括罐体和盖体，所述罐体和所述盖体密封围合形成所述容置空间，所述进气管和所述排气管插设于所述盖体上，所述排液管设于所述罐体的底部。

3.根据权利要求1所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述排液管包括：

虹吸管，设于所述吸收罐的底部，所述虹吸管的第一端连通所述容置空间，所述虹吸管的第二端设有第一控制阀；以及

溢流管，设于所述虹吸管的上方且连通于所述虹吸管，所述溢流管上设有第二控制阀。

4.根据权利要求3所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述虹吸管和所述溢流管为透明树脂管。

5.根据权利要求3所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述虹吸管和所述溢流管为一体压制成型。

6.根据权利要求1所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述进气管的第一端端面位于所述吸收液的液面以下5cm～10cm。

7.根据权利要求1所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，还包括用于输送所述吸收液的进液管，所述进液管设于所述吸收罐的顶部且连通于所述容置空间。

8.根据权利要求1所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述排气管为负压排气管，所述负压排气管连接于所述氯硅烷二次吸收装置，所述负压排气管远离所述吸收罐的一端设有抽气装置。

9.根据权利要求1所述的氯硅烷废气吸收设备，其特征在于，所述吸收液为水。