[实用新型]基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器有效
| 申请号： | 201720057167.0 | 申请日： | 2017-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN206440379U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李亦佳;蒋善超;隋青美;王静;田长彬;向力为 | 申请（专利权）人： | 山东大学;盐城工学院 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;G08C17/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司37221 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 250061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 栅格 moems 无线 振动 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器，其特征是，包括：微型光源、传输光纤、准直器、振动敏感源、光电转换模块、数据分析模块和无线传输模块；
所述微型光源通过传输光纤与振动敏感源连接，在所述振动敏感源的两侧分别固定有准直器，所述振动敏感源的输出端通过传输光纤与光电转换模块连接，光电转换模块与数据分析模块、无线传输模块依次连接。
2.如权利要求1所述的一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器，其特征是，所述振动敏感源包括梳状栅格、保护框架及准直螺纹孔；所述梳状栅格随外界振动而上下浮动，所述保护框架设置在梳状栅格的外侧，所述准直螺纹孔设置在保护框架上用于与准直设备连接。
3.如权利要求1所述的一种基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器，其特征是，所述光电转换设备包括依次串联连接的光电转换元件、放大电路和滤波电路。
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