[实用新型]一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架有效
申请号: | 201720051766.1 | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN206502888U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 王琳 | 申请(专利权)人: | 陕西西京电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710065 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉法单晶炉用 导流 支撑架 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,特别地,涉及一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在直拉法制备单晶硅工艺中,为了增大投料量,目前导流筒大都采用上挂式的,闭合单晶炉前需要悬挂导流筒。
在实际操作中,两人需半蹲炉体两侧,双手伸入炉盖与炉筒间隙平举导流筒挂上挂钩,并保持数十秒,其它人员做升晶操作提起导流筒直至挂钩牢固。
期间平举导流筒十分吃力,使用其它支撑物会将杂质带入炉内,并有遗忘支撑物的风险,操作人员双手伸入炉体间隙还有安全隐患,而随着工艺改进及人员技能提升,炉台运行周期缩短,人员大幅减少,在合炉中至少3人的操作弊端愈发明显。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,解决在生产过程中因无应用工具造成的劳动力占用、劳动强度大及容易带来污染的问题。
为了达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案予以实现。
一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,其特征在于,包括:
主体梯形框架、中央加强筋、多个下部支撑框、多个下部定位杆、多个上部定位杆、活动防脱杆;所述中央加强筋固定在所述主体梯形框架的梯形的两腰上,所述下部支撑框固定在所述主体梯形框架的下表面,所述下部定位杆固定于所述下部支撑框上,所述上部定位杆固定在所述主体梯形框架的上表面。
作为优选地,所述中央加强筋通过焊接固定在主体梯形框架的梯形的两腰上,并与所述主体梯形框架的上底边平行且靠近上底边。
作为优选地,所述下部支撑框通过焊接固定在主体梯形框架形成的下表面,且呈梯形排列。
作为优选地,所述下部支撑框为4个。
作为优选地,所述下部定位杆通过焊接与所述下部支撑框、主体梯形框架成为一体,所述下部定位杆固定于所述下部支撑框的外部一侧。
作为优选地,所述下部定位杆为4个。
作为优选地,所述上部定位杆通过焊接固定在所述主体梯形框架形成的上表面,且位于主体梯形框架的下底边。
作为优选地,所述上部定位杆为2个。
作为优选地,所述活动防脱杆的长度大于所述上部定位杆之间的距离。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:
本实用新型的直拉法单晶炉用导流筒支撑架通过可以变形的主体梯形框架为主体,解决了在生产过程中因无应用工具造成的劳动力占用、劳动强度大及容易带来污染的问题。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。
图1为本实用新型的一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架的结构示意图;
图中:1、主体梯形框架;2、中央加强筋;3、下部支撑框;4、下部定位杆;5、上部定位杆;6、活动防脱杆。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型的实施方案进行详细描述,但是本领域的技术人员将会理解,下列实施例仅用于说明本实用新型,而不应视为限制本实用新型的范围。
根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,包括:主体梯形框架1、中央加强筋2、多个下部支撑框3、多个下部定位杆4、多个上部定位杆5、活动防脱杆6;所述中央加强筋2固定在所述主题梯形框架1的两腰,所述下部支撑框3固定在所述主体梯形框架1的下表面,所述下部定位杆4固定于所述下部支撑框1上,所述上部定位杆5固定在所述主体梯形框架1的上表面。
以上实施例中,主体梯形框架1使用Φ8圆钢为材料,以梯形为基本形状进行变形使用。
根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,所述中央加强筋2通过焊接固定在主体梯形框架1的梯形的两腰上,并与主体梯形框架1的上底边平行且靠近上底边。
以上实施例中,在主体梯形框架1的靠近其上底边的位置平行设置一条中央加强筋2,防止导流筒放上后因跨度过大而变形。
根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,所述下部支撑框3通过焊接固定在主体梯形框架1形成的下表面,且呈梯形排列。
根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,所述下部支撑框3为4个。
根据本实用新型的一种直拉法单晶炉用导流筒支撑架,所述下部定位杆4通过焊接与所述下部支撑框3、主体梯形框架1成为一体,所述下部定位杆4处于所述下部支撑框3的外部一侧。
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