[实用新型]一种小型压差传感器

权利要求书

1.一种小型压差传感器，其特征在于：包括基座、顶盖、两敏感芯体以及电路板，

所述顶盖设置在所述基座上并与所述基座配合形成容置所述两敏感芯体以及所述电路板的腔室，

所述腔室包括在所述基座上间隔设置的两个敏感芯体容置腔，两敏感芯体分别设置在两个敏感芯体容置腔内，每个所述敏感芯体的感应端与所述基座之间形成密封腔，所述基座上对应所述密封腔设置有供气体或液体进入的通孔，

所述电路板固定在所述基座内，所述电路板与所述敏感芯体的接线端通过导线连接，所述电路板还连接有电缆线，所述基座上设置有电缆孔，所述电缆线穿过所述电缆孔与外界相应连接点连接。

2.根据权利要求1所述的小型压差传感器，其特征在于：所述敏感芯体与所述基座焊接连接。

3.根据权利要求1所述的小型压差传感器，其特征在于：所述电缆线包括电源线、输出线以及信号接地线，所述电路板包括依次设置的第一信号层、电源层、地层以及第二信号层。

4.根据权利要求3所述的小型压差传感器，其特征在于：所述电缆孔连接有与所述电缆孔适配的束线管，所述电缆线穿过所述束线管并由所述束线管固定。

5.根据权利要求4所述的小型压差传感器，其特征在于：所述束线管的外周壁上设置有垂直于所述束线管的轴向的束线螺钉，对应所述束线螺钉所述束线管的内周壁与所述电缆线之间设置有压环，所述束线螺钉通过所述压环将所述电缆线固定在所述束线管内。

6.根据权利要求1-5任一项所述的小型压差传感器，其特征在于：两个所述敏感芯体并排设置在所述基座的下部，两个所述敏感芯体的下端面分别与所述基座形成密封腔室，两个所述敏感芯体的上端面分别设置有转接板，所述电路板对应设置在两个所述敏感芯体的上方，所述导线连接在所述电路板与所述转接板之间。

7.根据权利要求1所述的小型压差传感器，其特征在于：所述电路板以及所述顶盖分别通过螺钉与所述基座固定连接，所述螺钉上涂覆有厌氧胶。

8.根据权利要求1-5任一项所述的小型压差传感器，其特征在于：所述电路板上设置有温度补偿芯片、差分放大电路以及保护电路，

所述敏感芯体采集到的测量信号经过温度补偿芯片进行温度补偿后再由差分放大电路放大后经保护电路后通过电缆线中的信号线输出。

9.根据权利要求5所述的小型压差传感器，其特征在于：所述基座、所述束线螺钉以及所述束线管均为不锈钢材质，所述顶盖、所述压环均为铝材质。

10.根据权利要求1-5任一项所述的小型压差传感器，其特征在于：所述敏感芯体是基于MEMS技术制作的压阻敏感芯体。