[实用新型]一种微焦点X射线管

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学领域，具体涉及一种微焦点X射线管。

背景技术

目前公知的x射线管焦点比较大，在X射线成像领域的的使用分辨率较低，不能满足在某些领域(如精密的线路板，集成电路，科学研究)的使用。开发微焦点x射线管势在必行。随着我国的现代化建设和科学研究的深入发展，对于具有高分辨率的X射线成像设备需要量越来越多。现有的技术无法实现X射线管无法满足较高精细分辨率的问题。因此，需对现有技术加以改进。

实用新型内容

本实用新型提供了一种微焦点X射线管，用以解决现有技术中无法实现较高精细分辨率的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种微焦点X射线管，所述射线管包括外壳、阴极发射极、阳极、透射窗，所述阴极发射极和所述阳极设置在所述外壳内，所述透射窗设置在所述外壳表面，所述阴极发射极包括发射端、加速极、聚焦极；所述发射端发射出电子经过所述聚焦极和所述加速极送至所述阳极，经过阳极发送到所述透射窗发送至外界。

进一步的改进在于，所述聚焦极包括一级聚焦极和二级聚焦极，所述二级聚焦极设置在所述一级聚焦极远离所述发射端的一侧，所述发射端、所述一级聚焦极、所述二级聚焦极的中心线在同一条直线上，所述加速极设置在所述一级聚焦极和所述二级聚焦极之间。

进一步的改进在于，所述一级聚焦极和所述二级聚焦极外接有聚焦电压控制器。

进一步的改进在于，所述阳极包括一反射面、进入口、外出口，所述反射面位于所述进入口和所述外出口之间。

进一步的改进在于，所述透射窗相对于所述反射面和所述发射端呈直角角度设置。

进一步的改进在于，所述反射面接有散热单元。

进一步的改进在于，所述透射窗为铍窗口，所述外壳为金属和陶瓷相互衔接的外壳。

进一步的改进在于，所述发射端包括一发射头、N根电极线、灯丝，(N＞1)；所述电极线穿过所述发射头侧面，所述灯丝安装在所述电极线内侧的端点。

进一步的改进在于，所述加速极外接有加速电压控制器。

本实用新型由于使用以上技术方案，使其具有的有益效果是：

本实用新型通过设置聚焦极，让射线在射线管内直接聚焦之后再穿射透射窗发射到射线管外，解决现有技术中无法实现较高精细分辨率的问题。通过进一步设计，使将加设加速电压控制器、聚焦电压控制器，实现更好的加速、聚焦控制。通过阳极的窗口进出及反射面进一步筛选电子束，进一步提高了适用性。

附图说明

图1为本实用新型一种微焦点X射线管的示意图。

具体实施方式

为了使实用新型实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，以下结合附图，进一步阐述本实用新型。

本实用新型的一种微焦点X射线管，如图1所示，射线管包括外壳1、阴极发射极、阳极2、透射窗3，阴极发射极和阳极2设置在外壳1内，透射窗3设置在外壳1表面，阴极发射极包括发射端4、外接有加速电压控制器的加速极5、聚焦极。

聚焦极包括外接有聚焦电压控制器的一级聚焦极6和外接有聚焦电压控制器的二级聚焦极7，二级聚焦极7设置在一级聚焦极6远离发射端4的一侧，加速极5设置在一级聚焦极6和二级聚焦极7之间。发射端4、一级聚焦极6、加速极5、二级聚焦极7的中心线在同一条直线上。

阳极2包括一接有金属散热单元的反射面8、进入口9、外出口10。由于金属具有较好的导热性，可以更好的将反射面上的热量传递出去。反射面8位于进入口9和外出口10之间，进入口9和外出口10所在平面呈相互垂直状态，反射面8和进入口9所在平面及外出口10所在平面均呈光线对称反射角度。

另外，透射窗3和发射端4、一级聚焦极6、加速极5、二级聚焦极7的中心线呈垂直设置。

透射窗3为铍窗口，外壳1为金属和陶瓷相互衔接的外壳，其中以便捷而且密封性较好的凹凸槽衔接模式较好。

更要说明的是，发射端4包括一发射头11、两根电极线12、灯丝13。两根电极线12穿过发射头11侧面，灯丝13安装在两根电极线12内侧的端点。

发射端4发射出电子经过一级聚焦极6、加速极5、二级聚焦极7送至阳极2的进入口9，再由反射面8反射至外出口10，发送到透射窗3发送至外界。完成发射端4发射的直径1000微米电子束汇聚成直径5微米的电子束打到靶上，即形成微焦点的目的。由于聚焦电压控制器和加速电压控制器的控制，更好的调节和控制电子束的状况。