[实用新型]基板吸附剥离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器制造领域，更具体地，涉及一种基板吸附剥离装置。

背景技术

真空贴合工艺是液晶面板制造过程中的重要步骤，在密闭的真空腔体内，通过上定盘和下定盘分别吸附阵列基板和彩膜基板，上定盘和下定盘相向移动，把阵列基板和彩膜基板压合在一起形成液晶面板。

随着高世代液晶面板生产线的发展，剥离基板的尺寸越来越大，对上定盘的吸附力和剥离基板的方式的要求也越来越高。目前广泛使用的剥离装置为平板式硅胶吸附(Plate Silicone rubber Chuck，PSC)装置，该装置包括相对设置的上定盘和下定盘，上定盘朝向下定盘的一侧设置有大面积的PSC粘性模块，顶针纵向贯通上定盘和PSC粘性模块。基板剥离时计算机控制上定盘向上移动，同时控制顶针向下顶出使基板剥离。

上述PSC装置，由于顶针的顶柱表面积过小，且PSC粘性模块粘附面积过大，粘性较强，导致剥离基板变形较大，造成产品异常。此外，由于顶针分布数量过多，想要将其水平度调整一致，难度较大。且在局部组立发生异常时，难以调整，更换和维护成本较高。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可分离式基板吸附剥离装置，其可以在组立机台玻璃基板剥离时有效减小玻璃基板的变形，避免产品出现异常。

本实用新型提供了一种基板吸附剥离装置，其特征在于，包括：上定盘；以及下定盘，所述下定盘与所述上定盘相对设置，其中所述上定 盘包括可拆卸的多个吸附定盘和多个支撑定盘，所述吸附定盘和所述支撑定盘之间可自由安装组合。

优选地，所述吸附定盘朝向所述下定盘一侧设置有吸附模块；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有支撑模块。

优选地，所述吸附模块包括硅橡胶层和第一衬底，所述硅橡胶层设置于所述第一衬底上；所述支撑模块包括金属层和第二衬底，所述金属层设置于所述第二衬底上。

优选地，所述硅橡胶层和所述金属层表面均为凹凸状结构。

优选地，所述吸附定盘朝向所述下定盘的一侧设置有凹槽，所述吸附模块设置在所述凹槽内；所述支撑定盘朝向所述下定盘的一侧设置有凹槽，所述支撑模块设置在所述凹槽内。

优选地，所述吸附定盘与所述吸附模块之间的固定方式包括螺接、粘接和卡接中的任一种；所述支撑定盘与所述支撑模块之间的固定方式包括螺接、粘接和卡接中的任一种。

优选地，所述吸附定盘上并列设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔纵向贯通所述吸附定盘和所述吸附模块。

优选地，所述支撑定盘上并列设置有第三通孔和第四通孔，所述第三通孔和所述第四通孔纵向贯通所述支撑定盘和所述支撑模块。

优选地，所述吸附定盘和所述支撑定盘的尺寸和形状均一致。

优选地，所述吸附定盘和所述支撑定盘的形状选自矩形、正方形、三角形以及六边形中的任一种。

依据以上技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

减小了基板吸附剥离装置和基板之间的黏着面积，降低了粘着力，是基板进行剥离时有效减少基板的形变，避免产品出现异常。

可根据具体情况的要求，变换支撑定盘和吸附定盘的形状和布局方式。

在发生局部异常时，可更换局部定盘，避免因局部异常更换整个定盘，降低修理和维护的成本。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1a示出现有技术提供的基板吸附剥离装置在吸附状态时的结构图。

图1b示出现有技术提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。

图2a示出现有技术提供的基板吸附剥离装置在进行剥离操作时的结构图。

图2b示出现有技术提供的剥离吸附装置在完成剥离操作时的结构图。

图3示出本实用新型的第一实施例提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。

图4a示出了图3中吸附定盘的结构图。

图4b和图4c分别示出了图4a中硅橡胶层的局部俯视图和侧视图。

图5示出了图3中支撑定盘220的结构图。

图6示出本实用新型的第二实施例提供的基板吸附剥离装置中上定盘的结构图。

具体实施方式