[发明专利]一种环保显影液在审
| 申请号： | 201711498078.0 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108170010A | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 周成香 | 申请（专利权）人： | 苏州碳方新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影液 环保 四甲基氢氧化铵 聚醚型消泡剂 析出 单乙醇胺 废水排放 高分子膜 环保经济 生产效率 有效抑制 线路板 防团聚 分散剂 胶体物 沉积 干膜 聚醚 抑泡 溶解 团聚 | ||
1.一种环保显影液，其特征在于，按照质量百分比，所述环保显影液的组分及其含量如下：
2.根据权利要求1所述的环保显影液，其特征在于，所述高效防团聚分散剂为苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚、苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、萘酚聚氧乙烯醚磺酸盐、苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、萘酚聚氧乙烯醚硫酸盐中的一种或几种。
3.根据权利要求2所述的环保显影液，其特征在于，所述的苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磺酸盐、萘酚聚氧乙烯醚磺酸盐为钠盐、钾盐或者铵盐。
4.根据权利要求2所述的环保显影液，其特征在于，所述的苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、二苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚硫酸盐、萘酚聚氧乙烯醚硫酸盐为钠盐、钾盐或者铵盐。
5.根据权利要求1所述的环保显影液，其特征在于，所述的抑泡聚醚为异辛醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚EH-6、丁醇无归聚醚BPE-1500、嵌段聚醚RPE 1740、PPG-400中的一种或几种。
6.根据权利要求1所述的环保显影液，其特征在于，所述的聚醚型消泡剂为聚醚改性有机硅消泡剂。
7.根据权利要求1所述的环保显影液，其特征在于，按照质量百分比，所述环保显影液的组分及其含量如下：
8.根据权利要求1所述的环保显影液，其特征在于，按照质量百分比，所述环保显影液的组分及其含量如下：
9.根据权利要求1所述的环保显影液，其特征在于，按照质量百分比，所述环保显影液的组分及其含量如下：
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