[发明专利]一种位移装置

权利要求书

1.一种位移装置，其特征在于，

具有：

定子磁体阵列，其包括第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体在第一平面内周期性排列；以及

动子，其至少包括由第一X线圈组成的第一X线圈阵列和由第一Y线圈组成的第一Y线圈阵列，

所述第一X线圈阵列的主体部分配置在与所述第一平面大致平行的第一导体层内，所述第一Y线圈阵列的主体部分配置在与所述第一平面大致平行的第二导体层内，所述第一导体层和所述第二导体层沿与所述第一平面垂直的方向离开一定间距而配置，

所述第一X线圈包括一对在第一方向上延伸的第一XX导体和一对在与所述第一方向大致垂直的第二方向上延伸的第一XY导体，

所述第一方向和所述第二方向均与所述第一平面大致平行，

所述第一方向和所述第二方向大致垂直，

所述第一X线圈中，一对所述第一XX导体中的至少一个配置在所述第二导体层中，一对所述第一XY导体均配置在所述第一导体层中，

所述第一Y线圈包括一对在所述第一方向上延伸的第一YX导体和一对在所述第二方向上延伸的第一YY导体，

所述第一Y线圈中，一对所述第一YY导体中的至少一个配置在所述第一导体层中，一对所述第一YX导体均配置在所述第二导体层中，

所述动子还包括由第二X线圈组成的第二X线圈阵列，

所述第二X线圈包括一对在所述第一方向延伸的第二XX导体和一对在所述第二方向上延伸的第二XY导体，

所述第二X线圈中，一对所述第二XX导体中的至少一个配置在所述第二导体层中，一对所述第二XY导体均配置在所述第一导体层中，

所述动子还包括由第二Y线圈组成的第二Y线圈阵列，

所述第二Y线圈包括一对在所述第一方向上延伸的第二YX导体和一对在所述第二方向上延伸的第二YY导体，

所述第二Y线圈中，一对所述第二YY导体中的至少一个配置在所述第一导体层中，一对所述第二YX导体均配置在所述第二导体层中。

2.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，

配置在所述第二导体层中的所述第一XX导体配置在最靠所述第二方向的负方向的所述第一YX导体和所述第二YX导体之间，配置在所述第二导体层内的所述第二XX导体配置在最靠所述第二方向的正方向的所述第一YX导体和所述第二YX导体之间。

3.根据权利要求1或2所述的位移装置，其特征在于，

配置在所述第一导体层中的所述第一YY导体配置在最靠所述第一方向的正方向的所述第一XY导体和所述第二XY导体之间，配置在所述第一导体层中的所述第二YY导体配置在最靠所述第一方向的负方向的所述第一XY导体和所述第二XY导体之间。

4.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，

配置在所述第二导体层中的所述第一XX导体配置在比最靠所述第二方向的负方向的所述第一YX导体或所述第二YX导体的更靠所述第二方向的负方向的一侧，配置在第二导体层的所述第二XX导体配置在比最靠所述第二方向的正方向的所述第一YX导体或所述第二YX导体更靠所述第二方向的正方向的一侧。

5.根据权利要求1或2所述的位移装置，其特征在于，

配置在所述第一导体层中的所述第一YY导体配置在比最靠所述第一方向的正方向的所述第一XY导体或所述第二XY导体的更靠所述第一方向的正方向的一侧，配置在所述第一导体层的所述第二YY导体配置在比最靠所述第一方向的负方向的所述第一XY导体或所述第二XY导体的更靠所述第一方向的负方向的一侧。