[发明专利]可编程的熔融石英标准电容器

权利要求书

1.一种可编程的熔融石英标准电容器，其特征在于，该电容器包括：

熔融石英盘，所述熔融石英盘为圆柱体，其作为电容器的绝缘电介质；

上极板，所述上极板设置于所述熔融石英盘的上端面，与所述熔融石英盘同轴，所述上极板包括多个子极板；

下极板，所述下极板作为共用电极，其设置于所述熔融石英盘的下端面，与所述熔融石英盘同轴；

圆环电极，所述圆环电极设置于所述下极板的圆周外，与所述下极板同心，其作为屏蔽电极减小泄漏电容，连接于地电位；

其中，所述多个子极板与所述下极板构成多个独立电容器，所述多个独立电容器的电容值具有线性比例关系；

所述子极板为23个，与所述下极板构成23个所述独立电容器C_i(i＝1,2,…,23)；

所述独立电容器C₁包括第一扇形结构和第二扇形结构，所述第一扇形结构与所述第二扇形结构同心；

第1-12个独立电容器的子极板构成所述上极板的主体结构，第13-23个独立电容器的子极板设置在第1-3个独立电容器子极板的边缘区域；

第13-23个独立电容器的子极板为宽度相同的长方形，通过调整所述子极板的长度或将所述子极板沿长边方向外移，设置第13-23个独立电容器的电容值。

2.根据权利要求1所述的可编程的熔融石英标准电容器，其特征在于，所述多个独立电容器的电容值具有线性比例关系，所述独立电容器C_i的电容值表示为：

其中，a_i表示第i个独立电容器C_i的电容值(i＝1,2,…,23)；a₁为独立电容器C₁的电容值。

3.根据权利要求1所述的可编程的熔融石英标准电容器，其特征在于，每一个所述子极板的引出线通过一个同轴开关与控制系统连接，所述控制系统通过控制每一个同轴开关的通断调整所述标准电容器的电容值。

4.根据权利要求3所述的可编程的熔融石英标准电容器，其特征在于，最大的独立电容器C₁的电容值a₁为65pF，所述标准电容器输出0.1fF-130pF范围内六个数量级变化的任意电容值。

5.根据权利要求3所述的可编程的熔融石英标准电容器，其特征在于，进一步包括23个接线管脚，其分布在所述上极板的圆周外，每一个所述子极板通过一个与之对应的接线管脚向外引出。

6.根据权利要求1所述的可编程的熔融石英标准电容器，其特征在于，通过镀膜光刻工艺将所述上极板和所述下极板设置在所述熔融石英盘的上下端面。