[发明专利]DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备

权利要求书

1.一种DMOS圆片加工过程中的超声波处理设备，包括超声波腔室、传输轨道；所述超声波腔室中设置有超声波发生器与超声波换能器；

其特征在于，所述传输轨道还包括有第一传输轨道，第一传输轨道之中设置有沿第一传输轨道径向延伸的第一连接杆件，第一连接杆件上设置有安置装置；

所述安置装置包括有两根垂直于所述第一连接杆件延伸的第二连接杆件，第二连接杆件于第一连接杆件侧的端部设置有连接孔，第一连接杆件于连接孔内部进行延伸；

所述第二连接杆件背离第一连接杆件侧的端部设置有垂直于第二连接杆件进行延伸的支撑杆件，相邻两根第二连接杆件端部支撑杆件之间设置有滤网；

所述传输轨道还包括有第二传输轨道，其设置于第一传输轨道的侧端部，且朝向第一传输轨道的方向进行延伸；所述第二传输轨道的高度沿其运动方向逐渐降低；

所述安置装置中，每一根第二连接杆件的中点位置设置有辅助支撑杆件，相邻两根第二连接杆件上的辅助支撑杆件支架设置有辅助滤网；

通过所述辅助支撑杆件以及所述辅助滤网的设置，使得圆片位于所述滤网与所述辅助滤网之间，从而使得圆片在所述超声波腔室内进行加工时，通过所述辅助滤网对其进行下压处理，以避免圆片因浮力而脱落所述安置装置；

所述滤网为柔性滤网，所述第一传输轨道传输过程中，所述第二连接杆件以及所述滤网在重力作用下，始终保持在竖直方向上延伸，从而避免了圆片的掉落，与此同时，通过所述滤网对圆片进行安置使得圆片与所述超声波腔室内清洁液的接触面积得以显著增加，同时通过所述滤网的柔性支撑，进一步避免圆片的掉落。