[发明专利]测试系统及测试方法

说明书

本申请提供一种测试系统及测试方法。其中，所述测试系统具有至少两个测试仪的测试装置、分选机、及分别与所述至少两个测试仪及分选机连接的控制装置；其中，所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，所述测试项目包括多个测试参数，所述控制装置将所述多个测试参数分配为至少两个参数组，每一参数组由一个对应的测试仪来测试，所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处。本申请提供的上述测试系统，通过同一测试程序将产品测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组，并通过至少两个测试仪同时对产品进行测试，有利于节省了后续其他测试项目的等待时长，从而提高了整体的测试效率。

技术领域

本申请涉及一种半导体技术领域，尤其涉及测试系统及测试方法。

背景技术

在半导体产品(比如集成芯片)制备完成后，需要对产品进行功能测试，比如电性功能测试。电性功能测试主要为针对产品的各种电性参数进行测试，以确定产品能正常运作。产品的电性功能测试通常包含不同电性能项目(可简称为测试项目)的测试，而针对不同的测试项目，通常会结合分选机，依次进行测试。在对产品进行测试时，当一个测试项目完成之后，会进入下一测试项目的测试。而某些测试项目所需测试的测试参数较多，则会使得测试该测试项目所需的时长较大，可能是后续其他测试项目所需时长的两倍或更多。

发明内容

本申请的一个方面提供一种测试系统，包括：具有至少两个测试仪的测试装置、分选机、及分别与所述至少两个测试仪及分选机连接的控制装置；其中，所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，所述测试项目包括多个测试参数，所述控制装置将所述多个测试参数分配为至少两个参数组，每一参数组由一个对应的测试仪来测试，所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处。

可选的，所述测试程序中，采用分隔符将所述多个测试参数分配为所述至少两个参数组。

可选的，所述控制装置将所述多个测试参数分配为第一参数组和第二参数组，所述测试装置包括用于测试第一参数组的第一测试仪、及用于测试第二组参数的第二测试仪。

可选的，所述分选机包括驱动电机，用以驱动所述产品移动。

可选的，所述分选机还包括用以连接驱动电机与所述控制装置的连接件，所述连接件包括用以传输产品移动信号的第一连接端，及用以传输测试信号的第二连接端；

其中，所述产品移动信号包括所述驱动电机的转动信号。

可选的，所述控制装置还用于接收所述分选机发送的产品移动信号或测试信号，并将所述产品移动信号或所述测试信号向对应的测试仪发送。

可选的，所述控制装置还用于将所述产品移动信号与所述控制装置中的产品移动参考信号匹配，并在匹配成功后向对应的测试仪发送所述产品移动信号；或，

将所述测试信号与所述控制装置中的测试参考信号匹配，并在匹配成功后向对应的测试仪发送所述测试信号。

可选的，所述产品移动信号的持续时长大于1ms。

可选的，所述控制装置包括存储单元，在完成所述产品的所述至少两个参数组的测试后，将所述至少两个参数组的测试结果合并及储存。

本申请的另一个方面提供一种测试方法，应用于上述测试系统，所述方法包括：

所述控制装置提供用户界面供用户根据产品的测试项目编辑测试程序，并将所述测试项目的多个测试参数分配为至少两个参数组；

所述至少两个测试仪对应测试不同的参数组；

所述分选机在控制装置的控制下将所述产品移动至对应的测试仪处；

所述对应的测试仪将所述至少两个参数组的测试结果返给所述控制装置；