[发明专利]一种微波等离子体激发装置

权利要求书

1.一种微波等离子体激发装置，包括磁控管（2）、转换器（6）、微波窗口（14）和腔体（7），所述磁控管（2）的输出端与转换器（6）的输入端通过第一微波传输机构（3）连通，所述转换器（6）的输出端通过第二微波传输机构（13）与微波窗口（14）对接，所述微波窗口（14）置于腔体（7）上，其特征在于，所述第二微波传输机构（13）的底侧设有出风口（9）；还包括气冷系统（1），气冷系统（1）将气体导向磁控管（2），所述气体依次流过磁控管（2）、第一微波传输机构（3）、转换器（6）和第二微波传输机构（13）、微波窗口（14）后从出风口（9）流出。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述磁控管（2）的周围设有第一冷却液流道，所述第一冷却液流道与冷却液供应机构连通。

3.根据权利要求2所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述冷却液体包括水、乙二醇型冷却液、甘油型冷却液、酒精型冷却液中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述转换器（6）周围设有第三冷却液流道，转换器（6）上设有与第三冷却液流道连通的第一进液口（4）和第一出液口（5）。

5.根据权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述第二微波传输机构（13）主要由导热材料制成。

6.根据权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述出风口（9）的数量为多个，以第二微波传输机构（13）的中心轴线为中心呈辐射状分布。

7.根据权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述微波窗口周围设有第二冷却液流道，所述第二冷却液流道的壁直接或间接与微波窗口接触。

8.根据权利要求7所述的微波等离子体激发装置，其特征在于，所述第二冷却液流道设置于第二微波传输机构（13）侧壁内，第二微波传输机构（13）上设有与第二冷却液流道连通的第二进液口（8）和第二出液口（10）。