[发明专利]一种具有良好除湿效果的电柜除湿器

权利要求书

1.一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，包括：壳体，其特征在于，还包括：设于壳体内的冷凝组件、加热器、温湿度传感器以及风扇；所述冷凝组件、加热器、温湿度传感器、风扇均与控制模块相连；所述冷凝组件与加热器的散热片相连；所述温湿度传感器包括温度传感器和湿度传感器；其中所述的湿度传感器基于氧化锆复合材料，该湿敏传感器为电阻式，包括硅片衬底，在硅片衬底上设有WO₃薄膜，WO₃薄膜之上设有插指电极，并且在WO₃薄膜之上、插指电极四周设有ZrO₂薄膜，在插指电极和ZrO₂薄膜之上设有CeO₂薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，所述电柜除湿器使用时，当控制模块通过温湿度传感器监测到柜内环境湿度高于设定除湿阀值时，先控制风扇和加热器开始工作，将电柜内的空气升温至预设温度，以气化电柜中的凝露；然后停止加热，并开启冷凝组件制冷，将电柜内水汽液化排出。

3.根据权利要求1所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，该湿度传感器中，所述的硅片衬底经过了热氧化，氧化炉内的温度为1200℃，氧化时间为3h，氧化后，氧化膜厚度为2μm。

4.根据权利要求1所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，该湿度传感器中，所述的WO₃薄膜为采用磁控溅射法制备，该WO₃薄膜的厚度为5μm。

5.根据权利要求4所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，所述WO₃薄膜中掺杂有Sn，掺杂量为4wt.％。

6.根据权利要求1所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，所述的ZrO₂薄膜中掺杂有Fe，掺杂量为7wt.％。

7.根据权利要求1所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，所述的CeO₂薄膜的厚度为1μm，该CeO₂薄膜中掺杂有Cu，掺杂量为16wt.％。

8.根据权利要求1所述的一种具有良好除湿效果的电柜除湿器，其特征在于，所述湿敏传感器的制备过程为：

S1、热氧化硅片；

S2、磁控溅射法制备WO₃薄膜；

S3、lift-off技术制备插指电极；

S4、溶胶-凝胶法制备ZrO₂薄膜；

S5、制备CeO₂薄膜；

S6、将硅片放入管式炉中，设置升温速度为6℃/min，在760℃下煅烧10h，连接引线后得到所述的湿敏传感器。