[发明专利]一种精密微动平台

说明书

技术领域

本申请涉及一种精密微动平台。

背景技术

具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位，被视为一个国家高技术发展水平的重要标志。在超精密机床中，超精密微动工作台用于对进给系统进行误差补偿，实现超精密加工；在大规模集成电路制造中，超精密微动工作台用于光刻设备中进行微定位和微进给；在扫描探针显微镜中，超精密微动工作台用于测量样品表面形貌，进行纳米加工；在生物工程方面，超精密微动工作台用于完成对细胞的操作，实现生物操作工程化；在医疗科学方面，超精密微动工作台用于显微外科手术，以便减轻医生负担，缩短手术时间，提高成功率。超精密微动工作台还被广泛应用于光纤对接，MEMS系统加工、封装及装配，以及电化学加工等领域中。目前，市场上的微动工作台多为x、y轴的水平调平，不具有调转角度的功能，不足以满足实际工作需要。

申请内容

本申请要解决的技术问题是提供一种精密微动平台。

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种精密微动平台，所述的微动平台包括一安装平台、通过螺纹可旋转的连接于所述的安装平台上的微动上升柱，所述的微动上升柱上设置有一第一摆杆和第二摆杆，所述的安装平台上设置有一环形滑轨，所述的第一摆杆上设置有一第一滑块，所述的第二摆杆上设置有一第二滑块，所述的第一滑块和第二滑块可滑动的设于所述的环形滑轨内，所述的微动平台还包括用于推动所述的第一摆杆摆动的第一丝杆螺母组件及用于推动所述的第二摆杆摆动的第二丝杆螺母组件。

优选地，所述的第一摆杆和第二摆杆沿所述的微动上升柱的径向延伸设置，并所述的第一摆杆和第二摆杆位于同一直线上。

优选地，所述的微动平台还包括一底座，所述的安装平台设置在所述的底座上。

优选地，所述的第一丝杆螺母组件包括固定在所述的底座上的第一螺纹套、穿过所述的第一螺纹套并与所述的第一螺纹套相螺纹连接的第一螺杆，所述的第一螺杆沿X轴方向延伸，所述的第一螺杆靠近所述的第一摆杆的端部设置有一第一推动部，所述的第一螺杆远离所述的第一摆杆的端部设置有一第一旋转部。

优选地，所述的第二丝杆螺母组件包括固定在所述的底座上的第二螺纹套、穿过所述的第二螺纹套并与所述的第二螺纹套相螺纹连接的第二螺杆，所述的第二螺杆沿X轴方向延伸，所述的第二螺杆靠近所述的第二摆杆的端部设置有一第二推动部，所述的第二螺杆远离所述的第二摆杆的端部设置有一第二旋转部。

优选地，所述的第一丝杆螺母组件与所述的第二丝杆螺母组件沿X轴的同一方向分别推动所述的第一摆杆和第二摆杆。

优选地，所述的安装平台上设置有一螺纹柱，所述的微动上升柱与所述的螺纹柱通过螺纹连接。

优选地，所述的螺纹柱与所述的环形滑轨同圆心设置。

本申请的一种精密微动平台，通过旋转螺杆，能够推动摆杆，使摆杆在X轴方向实现微动，摆杆带动微动上升柱旋转，达到微动上升柱的精密微调，该平台结构简单，对微动上升柱的高度的调节非常精密。

附图说明

图1是一种精密微动平台的结构示意图，

其中：1、微动上升柱；2、安装平台；3、底座；11、第一摆杆；12、第二摆杆；21、滑轨；41、第一螺纹套；42、第一螺杆；43、第一推动部；44、第一旋转部；51、第二螺纹套；52、第二螺杆；53、第二推动部；54、第二旋转部。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。