[发明专利]一种旋转微动平台

说明书

技术领域

本申请涉及一种旋转微动平台。

背景技术

具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位，被视为一个国家高技术发展水平的重要标志。在超精密机床中，超精密微动工作台用于对进给系统进行误差补偿，实现超精密加工；在大规模集成电路制造中，超精密微动工作台用于光刻设备中进行微定位和微进给；在扫描探针显微镜中，超精密微动工作台用于测量样品表面形貌，进行纳米加工；在生物工程方面，超精密微动工作台用于完成对细胞的操作，实现生物操作工程化；在医疗科学方面，超精密微动工作台用于显微外科手术，以便减轻医生负担，缩短手术时间，提高成功率。超精密微动工作台还被广泛应用于光纤对接，MEMS系统加工、封装及装配，以及电化学加工等领域中。目前，市场上的微动工作台多为x、y轴的水平调平，不具有调转角度的功能，不足以满足实际工作需要。

申请内容

本申请要解决的技术问题是提供一种旋转微动平台。

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种旋转微动平台，所述的微动平台包括一安装平台、通过螺纹可旋转的连接于所述的安装平台上的微动上升柱，所述的微动上升柱上设置有一摆杆，所述的安装平台上设置有一环形滑轨，所述的摆杆上设置有一滑块，所述的滑块可滑动的设于所述的环形滑轨内，所述的微动平台还包括一端部与所述的摆杆通过第一转轴相转动连接的第一连杆、与所述的第一连杆通过第二转轴相转动连接的第二连杆、与所述的第二连杆通过第三转轴相转动连接的第三连杆、用于推动所述的第三连杆的丝杆螺母组件，所述的丝杆螺母组件包括螺纹套、穿过所述的螺纹套并与所述的螺纹套相螺纹连接的螺杆，所述的螺杆沿X轴方向延伸，所述的螺杆靠近所述的摆杆的端部设置有一推动部，所述的螺杆远离所述的摆杆的端部设置有一旋转部。

优选地，所述的微动平台还包括一底座，所述的安装平台设置在所述的底座上。

优选地，所述的螺纹套固定连接在所述的底座上。

优选地，所述的摆杆与所述的第一连杆大致垂直，所述的第一连杆和第二连杆大致垂直、所述的第二连杆与所述的第三连杆大致垂直。

优选地，所述的第二连杆与所述的底座之间通过一转动轴相转动连接。

优选地，所述的转动轴至第三转轴之间的距离大于所述的转动轴至第二转轴之间的距离。

优选地，所述的安装平台上设置有一螺纹柱，所述的微动上升柱与所述的螺纹柱通过螺纹连接。

优选地，所述的螺纹柱与所述的环形滑轨同圆心设置。

本申请的一种旋转微动平台，通过一丝杆螺母组件推动连杆，通过多个连杆的力传递，使摆杆摆动，摆杆带动微动上升柱旋转，达到微动上升柱的精密微调，该平台结构简单，对微动上升柱的高度的调节非常精密。

附图说明

图1是一种旋转微动平台的结构示意图，

其中：1、微动上升柱；2、安装平台；3、底座；11、摆杆；21、滑轨；41、螺纹套；42、螺杆；43、推动部；44、旋转部；51、第一连杆；52、第二连杆；53、第三连杆；6、转动轴；71、第一转轴；72、第二转轴；73、第三转轴。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。