[发明专利]一种脆性材料零件安装装置及其应用

说明书

本发明公开了一种脆性材料零件安装装置，该装置包含：脆性材料零件，其具有凹槽，该凹槽上包含：若干卡抵槽，该卡抵槽的上部设有：凸出的抵挡部件；若干第一连接部件，其设置在卡抵槽内；第二连接部件，其设置在凹槽上，且在该第二连接部件上设有连接件；以及固定件，其用于连接并固定第一连接部件和第二连接部件。连接件用于将待连接零件与脆性材料零件连接；卡抵槽的侧壁在横向上卡抵第一连接部件的移动；抵挡部件在纵向上卡抵第一连接部件的移动。本发明的装置通过第一连接部件和第二连接部件同时将脆性零件压紧，以第二连接部件直接和待连接零件直接连接，以间接地稳定安装脆性零件，避免了脆性零件的破裂。

技术领域

本发明涉及一种零件安装装置，具体涉及一种脆性材料零件安装装置及其应用。

背景技术

等离子体刻蚀是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

等离子体刻蚀过程中采用的等离子刻蚀机，其组成一般包括等离子发生器(工业上常用RF激发法)、真空室和电极。其中，一些零部件使用脆性材料如硅、石英等，由于其材料特性比较脆，容易破裂，目前技术无法在这些材料上加工螺纹孔。

因此，这些脆性材料的安装方式及安装位置比较局限，比如通过平面接触靠重力作用和其他零件堆在一起。

发明内容

本发明的目的是提供一种脆性材料零件安装装置及其应用，该装置解决了现有技术中脆性材料的安装方式及安装位置的局限性问题，能够将脆性材料和其它零件稳定的安装在一起，同时避免了脆性材料的破裂。

为了达到上述目的，本发明提供了一种脆性材料零件安装装置，该装置包含：脆性材料零件，其具有凹槽，该凹槽上包含：若干卡抵槽，该卡抵槽的上部设有：凸出的抵挡部件；若干第一连接部件，其设置在所述的卡抵槽内；第二连接部件，其设置在所述的凹槽上，且在该第二连接部件上设有连接件；以及固定件，其用于连接并固定第一连接部件和第二连接部件。

其中，所述的连接件用于将待连接零件与所述的脆性材料零件连接。

其中，所述的卡抵槽的侧壁在横向上卡抵所述的第一连接部件的移动；所述的抵挡部件在纵向上卡抵所述的第一连接部件的移动。

所述的卡抵槽和抵挡部件由所述的凹槽向所述的脆性材料零件内部横向凹进形成。

其中，在所述的卡抵槽上方，所述的凹槽上部向所述的脆性材料零件内部横向凹进形成支撑部。

其中，所述的第二连接部件两端设置在所述的支撑部上，且与所述的支撑部相适配。

所述的卡抵槽与卡设在其内的第一连接部件相适配。

所述的卡抵槽包含：圆弧状结构。

所述的卡抵槽数目为两个，其分别设置在凹槽的两端。

所述的第一连接部件包含：基底，以及设置在所述的基底上的凸台。

其中，所述的第二连接部件套设在所述的凸台上。

所述的基底具有对称的圆弧状结构，该圆弧状结构与所述的卡抵槽的圆弧状结构相适配。

所述的凹槽上还包含：用于连接各卡抵槽的连通槽。

其中，所述的基底的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽的直径相一致。

在使用状态时，所述的第一连接部件经所述的连通槽推至所述的卡抵槽内，转动以使所述的基底卡置在所述的卡抵槽内，所述的第二连接部件放置在所述的凹槽上，且套置在所述的凸台上，所述的卡抵槽与所述的基底卡紧，所述的支撑部与所述的第二连接部件卡紧。