[发明专利]单晶炉的自动加料装置及其操作方法

权利要求书

1.一种单晶炉的自动加料装置，包括储料箱（2）和第一阀门（4）；其特征在于：还包括称重机构（1）、加料机构（3）和主控制器（8）；所述的加料机构设有保护性气体接入口和抽真空接口，且加料机构（3）包括料箱（30）、电机（31）、转轴（32）、挡板（33）、导料板（34）和连接板（35）；所述的料箱（30）具有箱体（30-2）、位于上方的进料管（30-4）和位于下方的出料管（30-5），且进料管（30-4）和出料管（30-5）均与箱体（30-2）的内腔相连通；进料管（30-4）密闭设置在箱体（30-2）上或通过其它密封件密闭设置在箱体（30-2）上；出料管（30-5）密闭设置在箱体（30-2）上或通过其它密封件密闭设置在箱体（30-2）上；所述电机（31）由其机座直接固定连接在料箱（30）上或固定连接在其他固定结构件上；所述转轴（32）转动连接在料箱（30）上，且转轴（32）的主体位于料箱（30）的箱体（30-2）中，并且位于进料管（30-4）与出料管（30-5）之间；转轴（32）的左端与电机（31）的输出轴相连；转轴（32）的轴向中部的周缘上具有开口（32-4），且开口（32-4）沿径向向内延伸从而形成舱口（32-5），并且舱口（32-5）用于在转轴（32）转动时落入和落下固体硅料（7）；所述的挡板（33）、导料板（34）和连接板（35）均位于料箱（30）的箱体（30-2）中；所述的连接板（35）由其左右端部固定连接在料箱（30）的箱体（30-2）上；所述的挡板（33）由其顶部固定连接在连接板（35）上，其左右两端靠近箱体（30-2），并且靠紧在转轴（32）的轴向中部的周缘上；所述的导料板（34）按照前高后低的方式设置，且其前侧边沿固定连接在连接板（35）上或者是固定连接在箱体（30-2）上，并且其板体位于进料管（30-4）的下方；箱体（30-2）、转轴（32）、挡板（33）、导料板（34）和连接板（35）的设置，使得相互间的空隙小于固体硅料（7）的粒径；所述的加料机构的保护性气体接入口设置在储料箱（2）的箱体的上部；储料箱（2）位于料箱（30）的上方，密闭固定连接在料箱（30）上，且其出料口与进料管（30-4）连通；第一阀门（4）设置在储料箱（2）的位于下方的出料口处；所述称重机构（1）的称量信号输出端、电机（31）和第一阀门（4）各自的控制端均与主控制器（8）电连接或者是无线信号连接；所述的加料机构的抽真空接口设置在储料箱（2）的箱体的底部或者是料箱（30）的箱体（30-2）的底部。

2.根据权利要求1所述的单晶炉的自动加料装置，其特征在于：还包括物料缓冲机构（5）、保温盖（102）、引导管（105）和单晶炉的炉盖（100）；所述的炉盖（100）设有进料口（101）；所述物料缓冲机构（5）包括筒体（51）、左挡板（52）和右挡板（53）；所述的筒体（1）的上端设有进料口，下端设有出料口；所述左挡板（2）和右挡板（3）的数量相等，或者两者相差一块，并且两者相间设置；各块左挡板（2）按照左高右低的方式固定连接在筒体（1）的内壁上；各块右挡板（3）按照左低右高的方式固定连接在筒体（1）的内壁上，且位于左挡板（2）的对面；相邻的左挡板（2）与右挡板（3）之间具有一定的距离，该距离大于使用中所投入的固体硅料颗粒的粒径，并且上侧挡板的下边沿位于相邻的下侧挡板的板体的上方；

使用时，物料缓冲机构（5）设置在保温盖（102）上，其底部位于坩埚（104）内，且该底部从上方接近预定的液体硅料的液面的实际到达的最高高度；引导管（105）由其进料口从内测固定连接在炉盖（100）的进料口（101）处，且其出料口位于筒体（1）的进料口的上方，并接近筒体（1）的进料口；加料机构（3）的出料管（30-5）通过出料口可拆式密闭连接在炉盖（100）的进料口（101）的相应的连接管路与引导管（105）相连通，并且所述的相应的连接管路的出料口从外侧密闭固定连接在炉盖（100）的进料口（101）处。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的自动加料装置，其特征在于：所述的物料缓冲机构（5）是材质为石英玻璃的一体件。