[发明专利]一种基于UV-LIGA技术的微模具制造方法在审
| 申请号： | 201711387043.X | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108193236A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 郭钟宁;张会寅;邓宇;洪文生;麦文豪;王文兵;朱紫红 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 孙文卉 |
| 地址： | 510006 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属基 微模具 电铸 导电金属膜 金属堵塞 微细结构 显影工序 微沟槽 有效地 烘干 倒胶 镀膜 后烘 坚膜 前烘 显影 旋涂 银镜 沉积 制造 清洗 曝光 | ||
1.一种基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：清洗并烘干金属基底；
步骤二：将适量光刻胶倒在金属基底上后旋涂；
步骤三：前烘，烘烤旋涂后的光刻胶；
步骤四：曝光，使用光刻机曝光；
步骤五：后烘，烘烤曝光后的光刻胶；
步骤六：银镜镀膜，将银镜反应液倒在装有光刻工件的容器上配置好，并快速摇匀后迅速将容器放置在热水中静置后取出；
步骤七：显影，使用PGMEA有机溶剂进行显影；
步骤八：坚膜，对显影后的光刻胶进行烘烤；
步骤九：电铸，选择脉冲电源进行电铸。
2.如权利要求1所述的基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于：所述步骤一的清洗先用丙酮超声清洗，再用去离子水超声清洗。
3.如权利要求1所述的基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于：所述步骤二根据旋涂转速为500～900rpm，根据不同旋涂转速可获得50～200μm的胶厚。
4.如权利要求1所述的基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于：所述光刻机型号为URE-2000/35型紫外深度光刻机。
5.如权利要求1所述的基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于：所述步骤三烘烤温度为70-95℃。
6.如权利要求1所述的基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于：所述步骤五烘烤温度为70-95℃。
7.如权利要求1所述的基于UV-LIGA技术的微模具制造方法，其特征在于：所述步骤九的脉冲电源一个正向周期内导通时间为1-30ms、关断时间为50-100ms，正向脉冲工作时间为100-600ms，正向电流密度为0.1-2A/dm，一个反向周期内导通时间为1-10ms，关断时间为1-10ms，方向脉冲工作时间为1-10ms，反向电流密度为0.01-0.1A/dm。
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