[发明专利]一种质谱仪用模块化膜进样装置

说明书

本发明公开了一种质谱仪用模块化膜进样装置，包括底座、进样膜和膜支撑，所述底座上内沉一凹槽，所述凹槽内部成型一通孔，所述通孔的截面面积小于所述凹槽的截面面积；所述膜支撑为一筛板，其设置于所述凹槽的底部，所述进样膜贴合于所述筛板上，所述进样膜上设置一与所述凹槽内侧面相贴合的密封圈，所述密封圈上设置一带有进样孔的压盖，所述压盖的外侧面与所述凹槽的内侧面形成过盈配合。本发明在底座中的凹槽中设置筛板，然后将进样膜贴合在筛板上，在相同膜面积下，筛板的渗透能力远远强于现有的丝网板，大大提高质谱仪的真空度和灵敏度，同时膜后通透量较现有的丝网板大，有利于实现质谱仪快速检测的需求。

技术领域

本发明涉及质谱仪领域，具体涉及一种质谱仪用模块化膜进样装置。

背景技术

质谱仪作为一种现代化的先进科学仪器，因其能够灵敏地提供被分析样品的大量组成信息和结构信息而得到了广泛应用。其中所运用的膜进样是一种快速、简单、灵敏度高的质谱进样技术。在实时、现场检测中比其它进样技术更具有优势。目前国外用于现场在线检测的便式携或移动式质谱仪都成功地采用了膜阀进样技术，如德国Bruker公司的MM2车载质谱仪等。采用膜进样的质谱仪已经广泛用于军事、国家安全、化学侦察、现场突发事故检测、工业在线检测、环境监测等诸多领域。

如中国专利文献CN 102437005A、CN 105719934A所公开的膜进样装置，其膜安装在整个膜装置系统中，不能满足模块化、通用性和互换性要求，装配及维护操作工作量大，技术繁琐，增加使用成本。

膜支撑板多为丝网板，密封效果差，影响质谱仪对高真空的要求。丝网板支撑方式对薄膜的抗压力冲击性能影响较大，在高真空下容易造成膜的损坏，可靠性受到影响。

发明内容

针对现有技术中的以上不足，本发明提供一种抗压力冲击性能好、且通用性强，满足快速安装和维护的质谱仪用模块化膜进样装置。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种质谱仪用模块化膜进样装置，包括底座、进样膜和膜支撑，其特征在于，所述底座上内沉一凹槽，所述凹槽内部成型一通孔，所述通孔的截面面积小于所述凹槽的截面面积；所述膜支撑为一筛板，其设置于所述凹槽的底部，所述进样膜贴合于所述筛板上，所述进样膜上设置一与所述凹槽内侧面相贴合的密封圈，所述密封圈上设置一带有进样孔的压盖，所述压盖的外侧面与所述凹槽的内侧面形成过盈配合。

所述进样孔与所述通孔同轴设置，且二者孔径相同。

所述通孔成型于所述凹槽的中部位置。

所述筛板的中部为筛孔区域，所述筛孔区域的面积与所述通孔的截面面积相等。

所述筛孔区域分布有多个筛孔，所述筛孔区域的表面光洁度优于Ra0.8，所述筛孔区域的开孔率为(20～40)％。

所述筛孔区域中所成型的筛孔直径小于0.2mm。

所述密封圈为O型密封圈。

所述压盖材质的硬度小于所述底座材质的硬度。

本发明技术方案，具有如下优点：

A.本发明在底座中的凹槽中设置通孔，在凹槽底部设置筛板，然后将进样膜贴合在筛板上，在相同膜面积下，筛板的渗透能力远远强于现有的丝网板，相对于1000目数的丝网板，筛板通透能力提高约10倍，大大提高质谱仪的真空度和灵敏度，同时膜后通透量较现有的丝网板大，有利于实现质谱仪快速检测的需求。

B.本发明采用模块化的进样膜装置，自成一体，通用性强，可以实现与装配系统的多种密封装配，结构简单，成本低，安装维护方便，可满足快速更换的需求；