[发明专利]抗蚀剂聚烃类双叠氮聚合物的生产装置

说明书

抗蚀剂聚烃类双叠氮聚合物的生产装置，主要包括：聚合釜(D101)、环化釜(D102)、精制釜(D103)、调胶釜(D104)、储罐(F101，F102)、浓缩器(L101)、过滤器(L102)、泵(J101，J102),其中，泵(J101)分别与储罐(F101)、聚合釜(D101)相连接，浓缩器(L101)分别与精制釜(D103)、调胶釜(D104)相连接，其中，聚合釜(D101)内锅直径800‑850mm。

技术领域

本发明涉及化合物合成装置，尤其涉及抗蚀剂聚烃类双叠氮聚合物的生产装置。

背景技术

聚烃类双叠氮聚合物作为金属衬底的黏附性较好，并且具有较好的耐腐蚀性，因而在集成电路、大面积集成电路以及各种薄膜器件的光刻工艺中得到广泛应用。现有的生产装置大多比较复杂，聚烃类双叠氮聚合物作为抗蚀剂，其生产装置优劣对于提高产品质量，减少副产物含量具有重要经济意义。

发明内容

本发明的目的在于提供抗蚀剂聚烃类双叠氮聚合物的生产装置，主要包括：聚合釜(D101)、环化釜(D102)、精制釜(D103)、调胶釜(D104)、储罐(F101，F102)、浓缩器(L101)、过滤器(L102)、泵(J101，J102),其中，泵(J101)分别与储罐(F101)、聚合釜(D101)相连接，浓缩器(L101)分别与精制釜(D103)、调胶釜(D104)相连接，其中，聚合釜(D101)内锅直径800-850mm,储罐(F101)锥底高度320-330mm，泵(J101)叶轮直径115-120mm。

抗蚀剂聚烃类双叠氮聚合物的生产装置，生产流程为：采用高纯度异戊二烯单体，用无水二甲苯作溶剂，在催化剂对甲苯磺酸作用下于聚合釜D101内进行聚合反应，制得聚异戊二烯。然后将其置于环化釜D102中，仍以无水二甲苯作溶剂，在通氮下加入环化催化剂进行环化反应，通过环化率的测定，确定反应终点，然后加入终止剂终止反应，得环化橡胶。在精制釜D103内用醋酸水溶液洗涤环化橡胶，以除去未参加反应的聚合物，并用离心分离法精制。精制后的胶液中含有一定量的水分，微量水分的存在对胶性能的影响很大，在浓缩器L101内采用浓缩法使微量水分随二甲苯共沸蒸出。在不锈钢制的调胶釜D104中加入计量后的环化橡胶溶液，再加入定量的交联剂、添加剂，搅拌溶解，并按所需浓度加入无水二甲苯，稀释到一定黏度，保证其固体分含量符合要求。在过滤器L102中，采用聚四氟乙烯超微过滤膜，在氮气保护和加压下将胶过滤3-5次，第一次除去1μm以上粒子，第二次除去0.1～015μm粒子。包装容器事先用超声波清洗，经超净干燥处理，然后在100级净化室内进行包装。用氮气加压储罐中的胶液，经管道送至包装工作台进行计量包装。然后即用瓶塞塞紧，外加遮光袋，置入纸盒中，得成品。本发明优点在于：减少了反应中间环节，降低了反应温度及反应时间，提高了反应收率。

附图说明

图1是抗蚀剂聚烃类双叠氮聚合物的生产装置，主要包括：聚合釜(D101)、环化釜(D102)、精制釜(D103)、调胶釜(D104)、储罐(F101，F102)、浓缩器(L101)、过滤器(L102)、泵(J101，J102)。

具体实施方式

下面结合具体实施实例对本发明作进一步说明：

实例1：

生产原料与用量