[发明专利]一种硅材料的清洗方法

权利要求书

1.一种硅材料的清洗方法，所述硅材料清洗装置的主体结构设计为清洗槽(1)，所述清洗槽(1)内安装有清洗滚筒(3)，所述清洗滚筒(3)内部安装有清洗刷(5)，所述清洗滚筒(3)由驱动电机(6)提供动力，所述驱动电机(6)的右侧安装有调速装置(7)，所述清洗槽(1)的底部安装有超声波发生器(4)，所述清洗槽(1)的右侧中下部设置有出水管(9)，所述清洗槽(1)右侧顶部设置有进水管(11)，所述进水管(11)在清洗槽(1)内部的一段上安装有喷淋装置(10)，所述进水管(11)的头部连接有纯水罐(15)、乙醇水溶液罐(13)、碱液罐(14)和酸液罐(16)，所述进水管(11)与乙醇水溶液罐(13)、碱液罐(14)、纯水罐(15)和酸液罐(16)之间均安装有放液阀门(12)，其特征在于：所述硅材料的清洗方法具体包括以下步骤：

1).醇水粗洗：先将硅材料放置到清洗滚筒(3)与清洗刷(5)之间的空隙内，启动驱动电机(6)带动清洗滚筒(3)旋转，使用调速装置(7)调整旋转速率，拧开乙醇水溶液罐(13)下方的放液阀门(12)，乙醇水溶液经进水管(11)和喷淋装置(10)进行喷淋，同时打开清洗槽(1)底部的超声波发生器(4)进行超声波清洗；

2).碱液浸泡：在步骤1完成后，关闭乙醇水溶液罐(13)下方的放液阀门(12)，使用出水管(9)将液体排出，拧开碱液罐(14)下方的放液阀门(12)，稀碱混合液经进水管(11)和喷淋装置(10) 进行喷淋，至完全浸没清洗滚筒(3)，使用调速装置(7)调节旋转速率至低速，同时关闭清洗槽(1)底部的超声波发生器(4)后进行碱液浸泡；

3).酸液喷淋：在步骤2完成后，关闭碱液罐(14)下方的放液阀门(12)，使用出水管(9)将液体排出，拧开酸液罐(16)下方的放液阀门(12)，稀酸混合液经进水管(11)和喷淋装置(10)进行喷淋，使用调速装置(7)调节旋转速率至中速，进行酸液喷淋冲洗；

4).高压水洗：在步骤3完成后，关闭酸液罐(16)下方的放液阀门(12)，使用出水管(9)将液体排出，拧开纯水罐(15)下方的放液阀门(12)，超纯水经进水管(11)和喷淋装置(10)进行高压喷淋冲洗，同时打开清洗槽(1)底部的超声波发生器(4)进行超声波清洗，喷淋冲洗至液体的PH值为7；

5).变速甩水：在步骤4完成后，关闭纯水罐(15)下方的放液阀门(12)，使用出水管(9)将液体排出，使用调速装置(7)调节旋转速率从中速由一定的加速度增至高速后进行甩水，一段时间后，再由高速以一定的加速度减至低速完成甩水过程；

6).恒温烘干：在完成步骤5后，将已经脱水的硅材料由清洗滚筒(3)内移出至烘箱内，设置烘箱内温度后开启烘箱进行烘制一段时间后取出硅材料，即完成硅材料的清洗过程。

2.根据权利要求1所述的一种硅材料的清洗方法，其特征在于：所述清洗槽(1)的顶部放置有清洗槽盖(2)，所述清洗槽(1)与调速装置(7)之间安装有连接轴承(8)。

3.根据权利要求1所述的一种硅材料的清洗方法，其特征在于：所述进水管(11)的头部从右到左依次 为乙醇水溶液罐(13)、碱液罐(14)、纯水罐(15)和酸液罐(16)。

4.根据权利要求1或3所述的一种硅材料的清洗方法，其特征在于：所述乙醇水溶液罐(13)内部装有的乙醇水溶液的浓度为8～15％。

5.根据权利要求1或3所述的一种硅材料的清洗方法，其特征在于：所述碱液罐(14)内部装有的碱液为氢氧化钠和碳酸钠的稀混合液，其中，氢氧化钠和碳酸钠的稀混合液的浓度设计为6～12％。

6.根据权利要求1或3所述的一种硅材料的清洗方法，其特征在于：所述酸液罐(16)内部装有的酸液为氢氟酸、硝酸和盐酸的稀混合液，其中，氢氟酸、硝酸和盐酸的稀混合液的浓度设计为5～8％。

7.根据权利要求1所述的一种硅材料的清洗方法，其特征在于：所述清洗滚筒(3)内部的清洗刷(5)的有效直径为清洗滚筒(3)的有效直径的1/2～2/3，清洗刷(5)与清洗滚筒(3)的旋转速率相同。