[发明专利]一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置在审
| 申请号： | 201711284370.2 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN107806818A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 雷大江;崔海龙;岳晓斌;刘坤;雷艳华;张新疆;蓝河;夏欢 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;G01B7/34;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心51210 | 代理人： | 翟长明,韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 刀具 刃口 轮廓 质量 精密 测量 装置 | ||
1.一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，其特征在于：所述的测量装置包括基座(1)、支架(2)、横梁(3)、原子力扫描头(4)、原子力扫描测量系统(5)、左右移动导轨A(6)、上下移动导轨A(7)、光学显微镜(8)、显微镜安装座(9)、上下移动导轨B(10)、左右移动导轨B(11)、三维精密位姿调整机构(12)、超精密空气静压回转轴系(13)、前后移动导轨(14)；
其连接关系是：基座(1)放置在隔振地基上；支架(2)固定连接于基座1上；横梁(3)固定连接于支架(2)上；左右移动导轨A(6)固定连接于横梁(3)上；上下移动导轨A(7)固定连接于左右移动导轨A(6)上；原子力扫描头(4)固定连接于上下移动导轨A(7)上；左右移动导轨B11固定连接于支架(2)上；上下移动导轨B(10)固定连接于左右移动导轨B(11)上；显微镜安装座(9)固定连接于上下移动导轨B(10)上；光学显微镜(8)固定连接于显微镜安装座(9)上；前后移动导轨(14)固定连接于基座(1)上；超精密空气静压回转轴系(13)竖直固定连接于前后移动导轨(14)上；三维精密位姿调整机构(12)固定连接于超精密空气静压回转轴系(13)上。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，其特征在于：所述的原子力扫描测量系统(5)包括扫描探针安装座(51)、原子力扫描探针(52)、刀具定位支架(53)、刀具夹持座(54)、刀柄(55)、金刚石刀具(56)；
其连接关系是：扫描探针安装座(51)固定连接于原子力扫描头(4)上；原子力扫描探针(52)安装在扫描探针安装座(51)上；刀具定位支架(53)安装在三维精密位姿调整机构(12)上；刀具夹持座(54)安装在刀具定位支架(53)上；刀柄(55)安装在刀具夹持座(54)上；金刚石刀具(56)安装在刀柄(55)上。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，其特征在于：所述的左右移动导轨A(6)、上下移动导轨A(7)、上下移动导轨B(10)、左右移动导轨B(11)、前后移动导轨(14)的调整精度为0.01mm。
4.根据权利要求1所述的一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，其特征在于：所述的三维精密位姿调整机构(12)的调整精度为亚微米。
5.根据权利要求1所述的一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，其特征在于：所述的超精密空气静压回转轴系(13)的运动精度为30nm。
6.根据权利要求1所述的一种金刚石刀具刃口轮廓质量超精密测量装置，其特征在于：所述的光学显微镜(8)的分辨精度为5μm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，未经中国工程物理研究院机械制造工艺研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711284370.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
